[发明专利]使用具有靶特征的激光射束的透过透镜校准的激光处理系统

权利要求书

1.一种用于将处理激光射束对准工件特征的方法，该处理激光射束包含用于处理该等工件特征的预定波长，该方法包括以下步骤：

将该处理激光射束沿着一传输路径经由一扫瞄透镜传送至一工件；

以该预定波长操控该处理激光射束，而以该经操控处理激光射束经该扫瞄透镜照射该工件的一所选择区域，该选择区域包括一对准靶，其中该所选择区域大于：经由该扫瞄透镜所提供该处理激光射束的一参考激光射束点；

导引该经操控处理激光射束的反射的至少一部份经由该扫瞄透镜至一摄影机，用于形成该工件的该所选择区域的影像；以及

根据由该摄影机所撷取该所选择区域的影像，以判断相对于该对准靶的该参考激光射束点的位置。

2.如权利要求1所述的方法，更包括：

根据相对于该对准靶的该参考激光射束点的所判断位置计算定位误差；

根据该所计算定位误差，将一处理激光射束点位置相对于一所选择工件特征而定位；以及

沿着该传输路径经由该扫瞄透镜，传输该处理激光射束，以致于以该预定波长将该处理激光射束聚焦于该处理激光射束点位置，以处理该所选择工件特征。

3.如权利要求1所述的方法，其中操控该处理激光射束以照射该工件的该所选择区域包括：

将该处理激光射束扩散或散焦。

4.如权利要求1所述的方法，其中操控该处理激光射束以照射该工件的该所选择区域包括：

使用一声光偏转器AOD子系统以产生激光射束点的扫瞄样式，其以一均匀流量填入该工件的该所选择区域。

5.如权利要求4所述的方法，更包括：

使用该AOD子系统，以较该激光射束点扫瞄样式的强度为高的强度，以提供该参考激光射束点，以使用作为参考用于判断相对于该对准靶的该参考激光射束点的位置。

6.如权利要求1所述的方法，更包括：

沿着该传输路径，经由该扫瞄透镜而传输该处理激光射束，以致于将该处理激光射束聚焦于该工件之该复数个激光射束点位置；

使用该摄影机经由该扫瞄透镜在该工件的该等复数个激光射束点位置的每一个的个别激光射束点形成影像；以及

根据该影像，以测量该激光射束点的每一个的尺寸，以修正相对于该工件的该扫瞄透镜高度，以维持一所想要的点焦点。

7.如权利要求1所述的方法，其中操控该处理激光射束、以照射该工件的该所选择区域且判断相对于该对准靶的该激光射束点位置的步骤是在以该处理激光射束处理该等工件特征之前在一对准程序期间实施。

8.如权利要求1所述的方法，其中操控该处理激光射束、以照射该工件之该所选择区域且判断相对于该对准靶的该激光射束点位置的步骤是在以该处理激光射束在该等工件特征处理期间实时地实施。

9.一种用于将一处理激光射束对准工件特征的激光处理系统，该处理激光射束包含用于处理该等工件特征的预定波长，该系统包括：

一激光源，用于提供该处理激光射束；

一扫瞄透镜，用于将该处理激光射束聚焦于在该工件上或工件中的一激光射束点，

一声光偏转器AOD子系统以：

产生该激光射束点的扫瞄样式，而以一均匀流量经该扫瞄透镜以照射该工件的该所选择区域，其中该选择区域包括一对准靶；以及

经由该扫瞄透镜在该选择区域中提供该参考激光射束点，其中，该参考激光射束点的强度大于该激光射束点的扫瞄样式的强度；

光学组件，导引该处理激光射束的从该所选择区域经由该扫瞄透镜所反射的至少一部份；以及

一摄影机，用于形成该工件的该所选择区域的影像，其中，使用该选择区域的影像以判断相对于该对准靶的该参考激光射束点的位置。

10.如权利要求9所述的系统，其中该光学组件包括：

一部份反射器，用于接收从该所选择区域经由该透镜所反射的该处理激光射束；以及

一影像透镜，用于从该部份反射器接收该处理激光射束反射的至少一部份，且将该反射的至少一部份聚焦于该摄影机的一孔径上。