[发明专利]含有用于能量辐射的吸收颗粒的层的制造方法有效
申请号: | 201080022695.3 | 申请日: | 2010-05-12 |
公开(公告)号: | CN102449191A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | J.D.詹森;U.克鲁格;G.温克勒;C.多伊;K.库纳特;R.乌尔里克 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | C23C18/14 | 分类号: | C23C18/14;C23C18/12 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 郝俊梅 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 用于 能量 辐射 吸收 颗粒 制造 方法 | ||
本发明涉及在衬底上制造层的方法。根据该方法,向衬底上涂覆涂层材料,该涂层材料包含溶剂或分散剂、陶瓷的化学前驱体和用于能量辐射的吸收颗粒。然后,对该提供有涂层材料的衬底进行热处理,其中蒸发溶剂或分散剂并且所述化学前驱体在形成层的情况下转化成陶瓷,其中所述热处理包括引入电磁能量辐射,该电磁能量辐射由所述吸收颗粒转化成热。因此,所述吸收颗粒由能够吸收能量辐射的材料构成。该能量辐射必须提供可由一定吸收剂材料吸收的能量,并且以合适的方式选择适于使用的吸收颗粒。作为能量辐射可以特别使用电磁辐射,由此对于吸收颗粒的材料选择提供了大量选项(对此将在下文详述),从而取决于应用情况,可以选择与所制造的层体系适配的材料。
由陶瓷的化学前驱体制造陶瓷层的方法是已知的。例如,一种这种方法记载于WO 00/00660 A中。陶瓷的化学前驱体包括本身不属于陶瓷物质种类但是可以溶于溶剂或分散于分散剂中的材料。以这种方式得到了可以涂覆于待涂覆的衬底上的液体或糊料。后续的热处理的作用在于,首先蒸发溶剂或分散剂,由此硬化该层。接着的烧结处理导致前驱体交联成所期望的陶瓷(热解)。通过用不同的组合物涂覆更多的层,借助该方法也可以制造所谓的多层或梯度层,在层中层组成连续变化或跳跃变化。
在热处理时的热输入通常在烘箱中进行,在烘箱中将具有涂覆层的衬底加热至所需的温度。根据DE 10 2007 026 626 B3的记载,热输入还可以有针对性的实施,通过例如将UV-光吸收剂颗粒如氧化钛或氧化锌的颗粒引入层中。热处理可以通过UV-光辐射进行,或至少得到促进。
本发明的目的在于提供一种通过热处理陶瓷的化学前驱体在衬底上制造层的方法,该方法对所需的应用情形提供了层适配的更大空间,并因此可以经济地使用。
该目的通过本文开头所述的方法实现,其中对于层的仅一部分体积,使用含有吸收颗粒的涂层材料作为第一涂层材料,并且对于层的其余体积使用至少另一种涂层材料,其含有溶剂或分散剂和陶瓷的化学前驱体。换句话说,对于本发明方法使用更多的涂层材料,其至少在吸收颗粒的选择方面彼此不同。在各情况中,第一涂层材料含有一定种类的吸收颗粒,而(一种或多种)其他涂层材料不含吸收颗粒或含有不同于第一涂层材料所含吸收颗粒的吸收颗粒。本发明应用吸收颗粒的优点在于,其可以针对一定的应用情形的方法需要进行适配。
例如,以所述方式制备较厚的层,其中邻近衬底的较低的层可以设置吸收颗粒。如果接着对这些层进行传统的烘箱中的热处理,那么首先加热层的表面附近,而层的衬底附近对此需要更长的时间。然而,在该区域中,热输入通过向要使用的吸收颗粒中引入适合的能量辐射进行加速,由此可以确保将层中化学前驱体均匀加热并转化成要制造的陶瓷。由此,有利的是减少对衬底的热负荷,缩短热处理的处理时间并且对抗在层中形成内应力。此外,避免在层厚较大时交替引入层材料和实施热处理。这既可以制造品质较高的层,也可以节省制造消耗和并由此节约成本。
通过仅向层的一定部分体积中引入吸收颗粒也可以有利地制造如下的层,在该层中使用了热处理时要求不同温度的陶瓷。温度较高的陶瓷可以设置具有吸收颗粒,或者设置具有较高浓度的吸收颗粒,从而在热处理时在该区域产生更高的温度。
含有不同涂层材料的层体积的部分优选为多层-层的单个层。层的不同分体积通过依次涂覆不同的涂层材料而形成。以这种途径也可制造分散层,如果在后续热处理层时层组成发生分散并导致在各层之间的浓度平衡。由此形成了构成梯度层特征的浓度梯度。
但是要制造的层的分体积也可以不以层形式分布。例如,在衬底上可以形成具有不同功能的层区域。因此,可以例如想到,制备具有特别性能如导电性或耐磨性的层的分区域。
根据本发明方法一个有利的实施方案,也可在其他涂层材料或至少一种其他涂层材料中使用吸收颗粒,其中该使用在吸收颗粒在涂层材料中的浓度和/或吸收颗粒的化学组成和/或不同种类吸收颗粒的混合比方面有不同。对此,可以有利地使用吸收颗粒的组合,可以使用不同种类的能量辐射在热处理时同时或依次工作。然后各能量辐射可以用于在一定层体积中针对性地影响温度。还可以借助不同组成的吸收颗粒使用如下的能量辐射,该能量辐射具有不同的向层中的特异性穿透深度(下文将详细解释)。吸收颗粒在涂层材料中的浓度确定了通过辐射层可以向相关层中转化的热能。由此,可以特别地影响加热速率。通过调节特定层中的不同种类吸收颗粒之间的不同混合比,还可以使用不同种类的能量辐射。
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