[实用新型]晶圆表面液体喷出装置无效
| 申请号： | 201020686251.7 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN201930874U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘家宽 | 申请（专利权）人： | 大河科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04;H01L21/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 液体 喷出 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆表面液体喷出装置，是应用于晶圆置于旋转机上进行自旋的晶圆表面液体喷出处理的装置，其特征在于：该装置具有一个二流体喷嘴，该二流体喷嘴连接有一个输送臂，该输送臂连接有一个液体供给槽与一个气体供给槽。
2.根据权利要求1所述的晶圆表面液体喷出装置，其特征在于：该二流体喷嘴是扇形二流体喷嘴，用以扇形状且流量分布均等的喷出液体及气体。
3.根据权利要求1所述的晶圆表面液体喷出装置，其特征在于：该二流体喷嘴距晶圆表面高度是10mm至30mm。
4.根据权利要求1所述的晶圆表面液体喷出装置，其特征在于：该液体是去离子水。
5.根据权利要求1所述的晶圆表面液体喷出装置，其特征在于：该液体是蚀刻液。
6.根据权利要求1所述的晶圆表面液体喷出装置，其特征在于：该气体是惰性气体。
7.根据权利要求1所述的晶圆表面液体喷出装置，其特征在于：该气体是氮气。
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