[实用新型]基台装置及液晶显示器的生产设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示的制造技术，尤其涉及一种基台装置及液晶显示器的生产设备。

背景技术

液晶显示器是目前常用的平板显示器，其中薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD)是液晶显示器中的主流产品。

TFT-LCD或半导体器件的生产过程中，玻璃基板(GLS基板)从投入到最后完成成品出来，要经过很多的工艺和设备，并且每台设备都有用于放置玻璃基板的基台。

每道工艺过程中，玻璃基板均放在基台上，玻璃基板下表面与基台密切接触，且经过一系列运动过程，使得玻璃基板下表面和基台接触地方聚集有电荷，即玻璃基板上产生静电。

这样，每道工艺完成后，玻璃基板离开基台的过程中，静电在玻璃基板下表面最后离开基台位置处容易发生静电集中，导致玻璃基板破裂。如图1A～图1F所示，设备在完成对玻璃基板3的作业后，Lift Pin(举针12)把玻璃基板顶起，举针11保持不变，后在机械手把玻璃基板3送出的过程，从如图1C、图1D所示的举针12开始动作到如图1E、图1F所示的玻璃基板3全部被举起来，玻璃基板3上总有一个位置最后离开基台1表面，此时过程中或环境中的静电容易聚集在该位置，导致玻璃基板3破裂。因此，需要去除玻璃基板3上的静电。

现有技术中，去除玻璃基板静电的方法是在生产设备中加装除静电装置，利用加装的除静电装置来去除玻璃基板加工过程中产生的静电。

现有技术存在的缺陷在于，除静电装置正对的地方，除静电能力强，其它地方可能就弱，而玻璃基板破裂可能发生在其它地方，并且，除静电装置发出的中和离子要透过玻璃基板到达玻璃基板的下表面，才能起到去除静电的作用，一定程度上影响了除静电效果。

实用新型内容

本实用新型提供一种基台装置及液晶显示器的生产设备，以实现更全面去除玻璃基板上的静电的目的。

本实用新型提供一种基台装置，包括基台，其中，所述基台中设置有用于传输带有正负电荷的气体的通道，所述通道连通所述基台的上表面和下表面。

如上所述的基台装置，其中，所述通道可为软管。

所述通道可包括多个子通道与一个总通道，所述多个子通道的一端均位于所述基台的上表面，另一端均与所述总通道的一端连通。

所述多个子通道位于所述基台上表面的一端可均匀排布，也可在所述基台中间区域的分布密度大于在周围区域的分布密度。

如上所述的基台装置还包括：

用于存储带有正负电荷的气体的气缸，输出端与所述总通道的另一端连接。

如上所述的基台装置还可包括：

用于产生正负电荷的离子风机，输出端与所述气缸的输入端相连。

如上所述的基台装置还可包括：

用于提供惰性气体的气泵，输出端与所述气缸的输入端连接。

所述气缸的输出端与所述总通道之间还可设置有用于控制所述气缸的输出端与所述总通道连通的阀门。

如上所述的基台装置还可包括控制单元，用于感应所述基台动作，并相应控制所述阀门的开关，所述控制单元与所述阀门连接。所述控制单元可控制所述阀门在所述基台上表面放置的基板离开的瞬间打开。

本实用新型还提供液晶显示器的生产设备，包括基台装置，所述基台装置为上述任一所述的基台装置。

本实用新型提供的基台装置及液晶显示器的生产设备，通过基台中设置的通道，将带有正负电荷的气体传输到基台的上表面，使得带有正负电荷的气体通过通道到达玻璃基板的下表面的各个部分即均匀分布，直接进行正负离子中和，消除了玻璃基板下表面各个部分上静电，解决了现有技术中存在的静电去除不均匀的问题，达到完全消除静电的目的。且带有正负电荷的气体无需透过玻璃基板，提高了静电消除效果与效率。

附图说明

图1A、图1C及图1E为玻璃基板产生破裂的机理示意图；

图1B为图1A的俯视图；

图1D为图1C的俯视图；

图1F为图1E的俯视图；

图2为本实用新型第一实施例提供的基台装置的结构示意图；

图3为本实用新型第二实施例提供的基台装置的结构示意图；

图4为本实用新型第二实施例提供的基台装置中子通道的一端在基台上表面的一种排布示意图；

图5为本实用新型第二实施例提供的基台装置中子通道的一端在基台上表面的另一种排布示意图。

具体实施方式