[实用新型]一种硅片的加工夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，特别涉及一种硅片的加工夹具，属于硅片加工的技术领域。

背景技术

在硅片加工过程中，将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去除。

传统的去除不规则边的工序是：将硅片用胶粘合在一起，再将不规则边研磨掉。但是将硅片粘合在一起存在以下缺点：

1、尺寸研磨工序结束后，进行表面研磨工序时，要先将粘合在一起的硅片通过溶解或清洗的方法分开，从而，增加了硅片的损坏率。

2、由于硅片是通常胶粘合在一起的，虽然，通过清洗会将胶液去除，但仍会有残余的化合物留存，从而，影响硅片表面的平整度，给下道工序增加难度。

为了解决上述技术问题，近来，出现了一种夹具，该夹具包括定位夹，定位夹内设有夹紧板及锁紧螺杆，锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，使用时，将硅片排列整齐的放在空位夹内，调节锁紧螺杆，使夹紧板将硅片夹紧，该夹具解决了上述技术问题，但该夹具是通过锁紧螺杆推动夹紧板，实现硅片夹紧的，使用时，硅片与夹紧板之间没有任何缓冲，研磨过程中，容易使硅片产生损坏；且由于研磨过程中，产生震动而使硅片松动。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单的硅片的加工夹具，该夹具可避免研磨过程中，硅片的损坏。

为了解决上述技术问题，本实用新型一种硅片的加工夹具，包括定位夹，夹紧板，夹紧装置，其中，所述夹紧装置为气缸装置。

上述一种硅片的加工夹具，其中，所述气缸装置包括推杆、缸体，所述推杆一端可活动的设置在缸体内，另一端与所述夹紧板固定连接；所述推杆的外周面与所述缸体的内周面密封配合。

本实用新型可实现以下有益效果：

1、由于所述夹紧装置为气缸装置，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，气缸的推杆会在气体的推动下，自动调节，避免硅片松开，且本实用新型结构简单。

2、由于所述气缸装置包括推杆、缸体，所述推杆一端可活动的设置在缸体内，另一端与所述夹紧板固定连接；所述推杆的外周面与所述缸体的内周面密封配合，从而，方便了使用，且节约了空间。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

为了解决上述技术问题，本实用新型一种硅片的加工夹具，包括定位夹1，夹紧板2，夹紧装置3，定位夹1为整体构件，该整体构件设空腔5，所述夹紧装置3为气缸装置。由于所述夹紧装置为气缸装置，夹紧板2夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，气缸的推杆31会在气体的推动下，自动调节，避免硅片4松开，且本实用新型结构简单。所述气缸装置包括推杆31、缸体32，所述推杆31一端可活动的设置在缸体32内，另一端与所述夹紧板2固定连接；所述推杆31的外周面与所述缸体32内周面密封配合。

这里本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上述实施例中，因此，本实用新型不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本实用新型保护的范围内。