[实用新型]电子元件的测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测试装置，尤其涉及一种用于半导体圆片等电子元件的测试装置。

背景技术

当半导体圆片制造完成之后，必须一一经过测试之后，以确保其电气特性、平坦度等重要性质是否符合要求；因此，便开发出许多种含有探针的测试装置，这类的测试装置主要结构包括：一电路基板、一上定位板(upper die)、一下定位板(lower die)、介于该上定位板与下定位板之间的一隔板(spacer)、及用于将前述上定位板、下定位板及隔板一起锁固于电路基板上的一连接板(jig)；其中电路基板上具有多个电气接点以与探针的一端进行电性接触，上定位板与下定位板分别设有供探针穿过的针孔，借此探针的二端可以分别凸伸出上定位板及下定位板而电性接触电气接点及一待测圆片，借此对该待测圆片进行测试。

然而，由于探针具有导电性且用以传递电气信号，所以供探针定位及穿出的上定位板与下定位板则须以绝缘材质制成方能避免探针与二者之间发生短路而影响测试结果；因此，业界多以陶瓷或塑料材料来制作上定位板及下定位板，并借由一金属隔板，使上定位板及下定位板分别锁固于金属隔板的上下表面而增加整体的固定强度。

然而，由于下定位板是由陶瓷或塑料材料制成，而隔板是由金属材料制成，二者材料上的差异会导致螺丝锁固时的紧固力不同；另外，下定位板是位于隔板的下方且最接近待测圆片，而螺丝是从下定位板锁入隔板中，因此在长期测试过程中，位于下定位板内的螺丝可能因为震动或摇晃而逐渐松动，加上重力的吸引，导致螺丝向下旋松而凸出碰触到待测圆片，严重者甚至有螺丝掉落的问题。

由于电子元件的薄型化，圆片及探针的尺寸也日益缩小，连带地，用于定位探针的上定位板及下定位板的尺寸也必须跟着缩减；如此一来，欲在尺寸较小的上定位板及下定位板之间达到相同或足够的螺丝紧固效果则越发困难，因为有时候螺丝锁入隔板内的力量已超过上定位板及下定位板本身材料所能承受的最大应力，因而导致上定位板及下定位板的破裂。

因此，如何解决上述的问题点，即成为本实用新型所改进的目标。

实用新型内容

本实用新型的一目的，在于提供一种电子元件的测试装置，其能够有效防止螺丝松动而碰触到欲测试的电子元件，以维持探针测试过程的质量及整个测试装置的结构强度。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种电子元件的测试装置，包括：一基板，布设有多个电气接点；一连接板，固定在该基板，该连接板在对应该多个电气接点位置设有一开口；一承载板，固接于该连接板，该承载板在对应该开口位置开设有呈阶梯状的一第一槽孔及一第二槽孔；一绝缘构件，具有一平板及自该平板延伸出的一定位凸块，该平板跨接在该第一槽孔，该定位凸块则穿接该第二槽孔，该定位凸块开设有多个针孔；以及多个探针，每一该探针的一端电性连接该电气接点，另一端则穿出该针孔以与所述电子元件电性连接。

上述的电子元件的测试装置，其中，该承载板于该第一槽孔内设有多个螺孔，该绝缘构件的平板周缘设有与该多个螺孔相互对齐的多个穿接孔。

上述的电子元件的测试装置，其中，该绝缘构件还包含一定位板，该定位板叠置于该平板上且与该平板一起锁固于该承载板，该定位板设有供该多个探针的顶端朝上穿出的多个探针孔，该定位板的周缘设有与该多个穿接孔相互对齐的多个埋头透孔。

上述的电子元件的测试装置，其中，每一该探针是由一上探针段、一下探针段及延伸于该上探针段及该下探针段之间的一侧向连接段所组成，该上探针段朝上延伸而穿出该多个探针孔，该下探针段朝下延伸而穿出该多个针孔，该多个探针孔与该多个针孔之间具有一侧向偏移量。

上述的电子元件的测试装置，其中，该定位板在与该平板接触的表面成型有一凹槽，该平板在与该定位板接触的表面成型有一凹穴，该凹槽及该凹穴共同提供该多个探针定位及弯折所需的空间。

上述的电子元件的测试装置，其中，该基板为金属材料件，其上具有一印刷电路板，该多个电气接点形成于该印刷电路板上，该基板具有围绕该多个电气接点的多个组装孔。

上述的电子元件的测试装置，其中，该连接板为金属材料件，该连接板具有对应该多个组装孔的多个通孔，每一该通孔均为一埋头通孔，该连接板的该开口周缘成型有供该承载板固接的一定位槽，该定位槽上环设有多个固定孔及二定位柱。

上述的电子元件的测试装置，其中，该承载板为金属材料件，该承载板具有对应该多个固定孔的多个穿孔，该承载板另外具有供该二定位柱嵌入的二限位孔，该承载板的每一该穿孔均为一埋头穿孔。

相较于现有技术，本实用新型具有以下功效：