[实用新型]带有挡板装置的硅块线切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏或半导体领域中的一种带有挡板装置的硅块线切割机。

背景技术

在硅片加工中，通过专用的线切割设备将硅棒或硅块切割成不同直径和厚度的片材是目前国际上通用的加工方式。该切割原理是用通过数千根直径约120-160μm的钢线作切割载体，以硬度仅次于金刚石的碳化硅磨料为主要切削介质，并采用浸润性好、排削能力强且对碳化硅类磨料具有优良的分散特性的聚乙二醇基、丙二醇基或油基悬浮液等切割液，作为碳化硅磨料的分散剂配制成分散均匀、悬浮状态稳定的砂浆，通过钢线在硅棒或硅块表面的快速运动，带动砂浆在硅棒或硅块表面流动，使碳化硅磨料与硅棒或硅块均匀持续地发生撞击和摩擦，最终将硅棒或硅块一次性切割成多片表面光滑平整的等径片材。

在硅块通过线切割加工成硅片的过程中，高速运转的钢线带动砂浆对硅块形成冲击，容易使硅块头尾部分的硅片受力发生位移摆动，并对这些硅片切割时产生切割偏差，导致硅片的崩边缺角比率很高。同时在硅块的线切割工艺中，硅块是与玻璃、托盘依次粘结在一起并安装在线切割机中，在整个硅块的线切割过程中，对硅块切割完毕后，还会对玻璃进行切割，由于硅块和玻璃是不同硬度的材料，当硅块切割完毕开始切割玻璃的瞬间，也非常容易使硅块头尾部分的硅片发生位移摆动，导致硅片的碎片率很高。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种带有挡板装置的硅块线切割机。

本实用新型的技术方案为：

一种带有挡板装置的硅块线切割机，包括切割室，其中：在切割室内安装有两块挡件，挡件位于切割室中的切割线网下方。挡件可以有效防止由于砂浆对硅块形成冲击或其他原因导致硅块头尾部分的硅片发生位移摆动。

一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的两块挡件分别位于与硅块两端外侧，挡件与硅块外侧之间的距离为1-10mm。

一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的挡件可以是挡板，也可以是挡杆。

一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的挡件通过焊接的方式与切割室进行固定连接。

一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：两块挡板的侧面设有侧面护板，侧面护板安装在切割室内，挡板分别安装在侧面护板上，侧面护板与挡板垂直。侧面护板可以防止切割线网上的砂浆掉落对硅块造成冲击，最终防止硅块头尾部分的硅片发生位移摆动造成硅片的崩边缺角。

一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：挡板通过螺钉安装连接在侧面护板上。

采用本实用新型提供的带有挡板装置的硅块线切割机可以有效方式防止因砂浆的冲击而引起硅块头尾部分的硅片受力发生位移摆动，确保硅片的切割精度，降低硅片崩边缺角率，同时还可以有效防止对硅块切割完毕后对玻璃进行切割时由于材料的不同而引起硅块头尾部分的硅片发生位移摆动，降低硅片的碎片率，采用本实用新型提供的带有挡板装置的硅块线切割机对硅块进行切割可以提高3-6％的硅片切割良品率。

附图说明

附图1是本实用新型实施例12的结构示意图；

附图2是本实用新型实施例13的结构示意图；

附图3是本实用新型实施例15的结构示意图；

附图4是本实用新型实施例15的使用状态示意图；

附图标记：侧面护板1、挡板2、切割线网3、硅块4、玻璃5、托盘6、切割室7、挡杆8。

具体实施方式

实施例1、一种带有挡板装置的硅块线切割机，包括切割室7，其中：在切割室7内安装有两块挡件，挡件位于切割室7中的切割线网3下方。

实施例2、一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的两块挡件分别位于与硅块4两端外侧，挡件与硅块4外侧之间的距离为1mm。其余同实施例1。

实施例3、一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的两块挡件分别位于与硅块4两端外侧，挡件与硅块4外侧之间的距离为2mm。其余同实施例1。

实施例4、一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的两块挡件分别位于与硅块4两端外侧，挡件与硅块4外侧之间的距离为3mm。其余同实施例1。

实施例5、一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的两块挡件分别位于与硅块4两端外侧，挡件与硅块4外侧之间的距离为4mm。其余同实施例1。

实施例6、一种带有挡板装置的硅块线切割机，其中：所述的两块挡件分别位于与硅块4两端外侧，挡件与硅块4外侧之间的距离为5mm。其余同实施例1。