[实用新型]带有真空装卸室的镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能集热管的镀膜机，尤其涉及一种带有真空装卸室的镀膜机。

背景技术

如图01所示，集热管是一种太阳能集热元件，它像一个拉长的暖水瓶胆，包括内玻璃管(吸热管)01、太阳选择性吸收涂层02、真空夹层03、罩玻璃管04、支承件(卡子)05、吸气剂06、吸气膜07等。由两根同心圆玻璃管组成，内、外玻璃管间抽成真空，太阳选择性吸收表面(涂层、膜系)沉积在吸热管的外表面构成吸热体，将太阳光能转换为热能，加热内玻璃管内的传热工质。

全玻璃真空集热管采用单端开口的设计，通过一端内、外管环形熔封起来，其吸热管另一端是密闭半球形圆头，带有吸气剂的弹簧卡子将吸热体玻璃管(以下简称吸热管)圆头支承在罩玻璃管(外玻璃管)内。

现有技术中，用于长吸热管选择性吸收涂层制备的方式是：

在真空腔室中以金属圆柱体(也有用长方体)作为溅射电极，在真空的情况下进行磁控溅射镀膜的过程，金属电极一般情况下比吸热管要长。在溅射时，在真空中充入氩气，由于氩气离子撞击金属电极，金属原子从金属电极表面游离出。游离出的金属原子沉积在吸热管的表面上和镀膜室中的其他构件上，吸热表面的涂层由金属及金属和非金属的原子组成，其中的非金属是由金属与腔室中的气体反应生成的，例如注入腔室中的氮气。

如图02、03所示，标准的单腔室溅射镀膜机主要用于批量镀制玻璃管(通常每批30～60支管)，包括镀膜室011、镀膜室墙壁012、吸收管013、圆形传送带014、支架015、溅射靶016、挡板017、镀膜室的门018、布气管042、抽气孔041等。它是一个直径约0.7～1.2米，垂直高度约2.0～2.5米(比吸热管长约0.7米)的带有抽真空系统的圆柱形腔室。可能会设一个、两个或三个溅射电极，垂直安置在腔室内。在两个或多个电极的情况下，在溅射电极中间会设置金属挡板，以减少溅射原子对其他电极的污染。放置在腔室中的吸热管，在一个外径略低于腔室内径的圆形旋转支架上作公转和自转运动。装吸热管时，将吸热管的开口端向下套在长度约350mm的支杆上。在溅射镀膜的过程中，圆形旋转支架依靠电机牵引以腔室的中心为轴心旋转，同时吸热管也在圆形旋转支架上匀速自转，以保证膜层均匀一致。在以往的工艺中，吸热管在镀膜结束后，要充入大气，然后打开镀膜机的门，手动将镀好膜的吸热管卸下，然后将新管装入镀膜室。

上述现有技术至少存在以下缺点：

当镀膜机的门打开时，大气中的潮湿空气会进入镀膜机内，导致大量水蒸气被吸附在镀膜腔室内壁和其他构件表面，特别是随着不断的镀膜，镀膜室内壁和其他构件表面沉积的涂层越来越厚，水蒸气在膜层上的吸附能力越来越强。将一批未镀膜的吸热管装入镀膜室后，关门开始抽真空，但是由于水蒸气吸附在腔室内壁上释放缓慢，达到溅射要求的真空度将非常困难，大大延长了抽真空的时间。因此，每一批吸热管的总镀膜时间会增加。因此，抽真空时间取决于进入镀膜室中空气的潮湿度，也取决于沉积在镀室内部膜的厚度。另外，在抽完真空后的溅射镀膜过程中，由于镀膜室内壁上的膜层仍持续释放水蒸气，尤其是在整个溅射镀膜的过程中，镀膜室中的内壁和构件表面的温度将不可避免的增加，水蒸气释放的速率会不断增长。水蒸气的存在会导致膜层的氧化，从而降低选择性吸收性能，使膜的质量变差，水蒸气含量的不断变化还会导致每一次镀膜的重复性很差。镀膜的质量和生产效率都很低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种镀膜质量高、生产效率高的带有真空装卸室的镀膜机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

本实用新型的带有真空装卸室的镀膜机，包括镀膜室，所述镀膜室连接有装卸室，所述装卸室与镀膜室之间设有通道，所述通道处设有隔离门；

所述装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；

所述装卸室与镀膜室之间真空密封，所述装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，所述装卸室的壁上设有装卸室门。