[实用新型]带有真空装卸室的镀膜机

权利要求书

1.一种带有真空装卸室的镀膜机，包括镀膜室，其特征在于，所述镀膜室连接有装卸室，所述装卸室与镀膜室之间设有通道，所述通道处设有隔离门；

所述装卸室内设有吸热管输送机，还设有吸热管传送机械手；

所述装卸室与镀膜室之间真空密封，所述装卸室和镀膜室分别设有单独的真空抽气口，所述装卸室的壁上设有装卸室门。

2.根据权利要求1所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述吸热管输送机上设有蛇形传送轨道，所述蛇形传送轨道上设有多个吸热管支架。

3.根据权利要求2所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述隔离门为铰链门或滑动门。

4.根据权利要求3所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述装卸室连接在所述镀膜室的侧壁上或镀膜室门上。

5.根据权利要求4所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述装卸室的底部设有脚轮。

6.根据权利要求1至5任一项所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述机械手包括水平支架，所述水平支架的前端设有垂直支架，所述垂直支架的上端和下端分别对应设有一个或两个吸热管夹具；

所述水平支架设有水平伸缩驱动装置；所述垂直支架设有上下移动驱动装置。

7.根据权利要求6所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平支架的前端设有水平短杆，所述垂直支架连接在所述水平短杆的前端；

所述水平短杆设有水平伸缩驱动装置和旋转驱动装置。

8.根据权利要求7所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平支架为整体长杆，所述装卸室的壁上设有管状延伸管，所述水平支架的后端伸入到所述管状延伸管内。

9.根据权利要求7所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平支架为伸缩杆，包括前杆和后杆，所述前杆与后杆之间设有相对伸缩驱动装置。

10.根据权利要求9所述的带有真空装卸室的镀膜机，其特征在于，所述水平伸缩驱动装置、上下移动驱动装置和相对伸缩驱动装置分别包括驱动电机和齿轮-齿条驱动机构；所述夹具设有气动或电磁或机械夹紧驱动机构；

当所述垂直支架的上端和下端分别对应设有两个夹具时，两个夹具之间的相对位置能够调整。