[实用新型]硅片清洗制绒槽无效
| 申请号： | 201020208171.0 | 申请日： | 2010-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN201686766U | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王瑞勋 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 制绒槽 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗制绒槽，它包括槽体(1)和加热管(2)，其特征是：在槽体(1)的槽底(3)上设有加热管支撑架(4)。
2.根据权利要求1所述硅片清洗制绒槽，其特征是：所述加热管支撑架(4)由二块对称分布的铁氟龙塑料块组成，在每块铁氟龙塑料块上开设有加热管限位槽(5)，加热管限位槽(5)到槽底(3)的高度为槽内溶液高度的1/5～1/4。
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