[实用新型]射频匹配器

说明书

技术领域

本发明涉及一种射频匹配器。

背景技术

射频匹配器的应用广泛，主要的具体领域为：半导体生产领域、等离子刻蚀、真空镀膜、PECVD、等离子清洗、物理气象沉积(PVD)、化学气象沉积(CVD)、射频溅射等等。目前市场上的射频匹配器多为手动射频匹配器，使用起来十分不便，在系统设备启动后要不断地手动调整匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求，无法实现应用系统的全自动控制，同时调节匹配的时间长、工作效率低、设备使用费用高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够实时监测并输出信号驱动电机工作以实现电容自动匹配的自动射频匹配器。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案实现：

射频匹配器，包括一个信号检测模块，该信号检测模块用于检测负载反馈的反射信号，并将该反射信号转化为直流驱动信号输出；

以及一个控制模块，该控制模块包括放大电路，所述的放大电路用于将接收到的直流驱动信号进行放大后输出；

以及一个传动执行模块，该传动执行模块用于接收经过放大电路放大直流驱动信号，并驱动阻抗匹配器进行与负载之间的阻抗匹配调整。

上述方案中信号检测模块检测到反射信号后，将直流信号转化为直流驱动信号输出至控制模块，控制模块将接收到的驱动信号输出给传动执行模块，以实现容量值的改变，从而达到调节阻抗的目的。

所述的控制模块还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用。

所述保护模块包括可调电位器，该可调电位器用于获知阻抗匹配器的调整情况，并将该调整情况转换为电压信号输出；

以及与可调电位器连接的比较器，该比较器将来自于可调电位器的电压信号与该比较器设定的电压进行比较后输出一个控制信号；

以及与比较器连接的控制开关，该控制开关接收比较器输出的控制信号后使所述放大电路失去放大作用。

所述的控制模块还包括一个用于显示阻抗匹配器容量的容量显示器，该容量显示器与控制模块连接。

所述放大电路包括一级放大器、二级放大器以及三级放大器。

所述传动执行模块包括传动齿轮组以及连接于放大电路输出端的直流电机，传动齿轮组包括设置于直流电机输出轴上的第一齿轮，以及用于连接在阻抗匹配器上的第二齿轮，以及连接在可调电位器上的第三齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合，第二齿轮与第三齿轮啮合。

所述第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮的传动比为1.2∶1∶2.5。

上述方案中，经检测模块输出的信号经一级放大器初级放大，再由二级放大器再次放大以驱动三级放大器对信号进行第三次放大后驱动直流电机转动。直流电动机通过齿轮组可带动真空电容和可调电位器进行转动。当可调电位器转动时，会反馈一个电压信号给比较器，当可调电位器的反馈电压信号达到极限时，则输出一个低电平到控制开关，这时，二级放大器失去放大作用，三级放大器得不到足够的驱动信号，直流电机停止转动，此时真空电容达到最大容量值，上述可调电位器的反馈电压信号可通过容量显示器显示出来。通过直流电机的转动，可以带动真空电容转动，以实现容量值的改变，从而达到调节阻抗的目的，同时，真空电容的转动可带动可调电位器的转动，可调电位器的转动则可以实现对真空电容容量值的电压反馈。

所述信号检测模块包括定向耦合器，以及与该定向耦合器连接的信号处理电路。

所述信号处理电路包括第一滤波器，与该第一滤波器连接的第一功率分配器，以及与该第一功率分配器连接的第一检测器；

以及第二滤波器，与该第二滤波器连接的第一移电路，以及与第一移相电路连接的第二功率分配器，以及与第二功率分配器连接的第二移相电路，以及与第二移相电路连接的第二检测器；

所述第一功率分配器还与第二检测器连接，所述第二功率分配器还与第一检测器连接。