[实用新型]整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统

权利要求书

1.一种整列针，包括用于与基板接触的接触柱体，其特征在于，在所述接触柱体上设置有一能够带动所述接触柱体进行旋转的旋转装置。

2.根据权利要求1所述的整列针，其特征在于，所述旋转装置为设置在所述接触柱体上的至少一个能够基于空气流动而带动所述接触柱体进行旋转的叶轮。

3.根据权利要求2所述的整列针，其特征在于，所述接触柱体上还设置有用于带动所述接触柱体以所述接触柱体的中心线为轴进行旋转的外螺纹套，所述叶轮设置在所述外螺纹套的外表面上。

4.根据权利要求3所述的整列针，其特征在于，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的切线平行。

5.根据权利要求3所述的整列针，其特征在于，所述叶轮的延长线与所述外螺纹套的切线的夹角为α，其中0＜α≤90°。

6.根据权利要求3或4或5所述的整列针，其特征在于，在所述外螺纹套的外表面上设置有多个所述叶轮，且多个所述叶轮均匀分布。

7.一种整列针清洗装置，包括用于对整列针上用于与基板接触的接触柱体进行清洗的基座，所述基座的一端设置有用于容置所述接触柱体的凹槽，所述凹槽的侧壁上设置有用于向容置在所述凹槽内的接触柱体喷射清洗液的清洗装置，其特征在于，在所述基座上方还设置有一换风管，所述换风管能够促使空气流动而带动所述叶轮进行旋转。

8.根据权利要求7所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述基座的另一端还设置有一用于回收清洗液的负压排气管。

9.根据权利要求8所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述换风管与所述负压排气管连通，用于通过吸附所述接触柱体周围的空气触发所述接触柱体旋转。

10.根据权利要求7所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述换风管 与一鼓风设备连接，用于通过向所述接触柱体喷气触发所述接触柱体旋转。

11.根据权利要求7或8或9或10所述的整列针清洗装置，其特征在于，所述换风管包括两个支管，所述两个支管的换风口分别位于所述接触柱体的两侧，且相对设置。

12.一种整列针清洗系统，其特征在于，包括如权利要求1至6任一所述的整列针以及如权利要求7至11任一所述的整列针清洗装置。