[实用新型]对位标记部件

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子产品领域，具体而言，涉及一种对位标记部件。

背景技术

目前，平板显示器件在电子产品领域中的应用越来越广泛，平板显示器件制作的投入在不断地扩大。现在主流的制作方式采用光刻的方式进行，光刻中使用大型的非接触式的曝光设备。为了保证在首次制作图形时把图形制作在玻璃基板的中心位置，一般是在机台上设置机械对位，保证图形的精度偏差在设计的范围内。

图1是根据相关技术的对位标记部件的剖面结构图；图2是根据相关技术的对位标记部件的俯视图。

如图1和2所示，现有的曝光设备中设置有对位标记部件，该设计部件包括：安装部2、下沉部3，对位部1镶嵌在安装部2中，对位部1由透明层6和点标记7构成，透明层6是不含杂质的玻璃、透明塑料或其他透明材料。

使用过程中，该对位标记部件下沉部3的壁与机台上的匹配孔的壁结合来实现固定，下沉部3的壁面为圆柱形，在制造精度上对位标记部件下沉部3的圆柱形壁面必须和孔的壁面结合完好、密封完好，这样才不至于出现偏差，而且必须设计有排气通道。由于制造工艺的良莠不齐，该设计的对位标记不容易固定，在设备进行对位的过程中使镜头观看的焦距容易发生变化，不利于聚集，严重时影响玻璃基板的对位，使图形不能很好地制作在玻璃基板的中间位置。而且对位标记在机台上的位置也很固定，不方便对位标记在机台上合理布局，在品种切换时不能很好地移动位置，不利于合理使用合适大小的母版，不利于降低所使用的耗材费，从而增加了生产成本。

针对相关技术中对位标记部件固定不牢靠，容易移位掉出，导致曝光对位出错的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种对位标记部件，以解决相关技术中对位标记部件固定不牢靠，容易移位掉出，导致曝光对位出错的问题，同时也解决了使用小尺寸母版时，对位标记不能移动的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种对位标记部件。

根据本实用新型的对位标记部件方法包括：对位部、安装部和下沉部，还可以包括：固定部，与下沉部相连接；其中，对位标记部件通过固定部与机台连接。

进一步地，在固定部上可以具有螺纹，固定部通过螺纹旋紧于机台上，其中，在机台上设置有与螺纹相对应的螺孔。

进一步地，螺孔可以为机台上固定台面的螺孔，固定台面的螺孔均匀设置在机台上，其中，各个固定台面的螺孔在机台上呈中心对称分布。

进一步地，固定部的下部可以具有预定长度的螺纹。

进一步地，对位部内嵌于安装部中，安装部的外部可以具有至少一个切面。

进一步地，对位部可以包括透明层和点标记，其中，点标记位于透明层的中心位置，透明层为圆形。

进一步地，点标记的直径在200μm和280μm之间；透明层的直径在5mm至8mm之间。

进一步地，安装部的厚度可以小于机台上玻璃基板的厚度。

进一步地，安装部的厚度可以小于1.5mm。

进一步地，在机台的不同位置可以设置有多个对位标识孔，其中，在各个对位标识孔中均设置有螺孔。

本实用新型还提供了一种曝光机，曝光机包括对位标记部件的所有技术特征。

根据本实用新型的对位标记部件包括：对位部、安装部和下沉部，还包括：固定部，与下沉部相连接；其中，对位标记部件通过固定部与机台连接，解决了相关技术中对位标记部件固定不牢靠，容易移位掉出，导致曝光对位出错的问题，进而达到了制作产品时对位准确、迅速，而且对位标记易于固定，同时降低对位标记部件的制造精度、降低加工成本的效果。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是根据相关技术的对位标记部件的剖面结构图；

图2是根据相关技术的对位标记部件的俯视图；

图3是根据本实用新型实施例的对位标记部件的剖面结构图；

图4是根据本实用新型实施例的对位标记部件的俯视图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

根据本实用新型的实施例，提供了一种对位标记部件。

图3是根据本实用新型实施例的对位标记部件的剖面结构图；

图4是根据本实用新型实施例的对位标记部件的俯视图。