[实用新型]对位标记部件

权利要求书

1.一种对位标记部件，包括对位部(1)、安装部(2)和下沉部(3)，其特征在于，还包括：

固定部(4)，与所述下沉部(3)相连接；

其中，所述对位标记部件通过所述固定部(4)与机台连接。

2.根据权利要求1所述的对位标记部件，其特征在于，所述固定部(4)上具有螺纹(5)，所述固定部(4)通过所述螺纹(5)旋紧于所述机台上，其中，在所述机台上设置有与所述螺纹(5)相对应的螺孔。

3.根据权利要求2所述的对位标记部件，其特征在于，所述螺孔为所述机台上固定台面的螺孔，所述固定台面的螺孔均匀设置在所述机台上，其中，各个固定台面的螺孔在所述机台上呈中心对称分布。

4.根据权利要求2所述的对位标记部件，其特征在于，所述固定部(4)的下部具有预定长度的螺纹。

5.根据权利要求1所述的对位标记部件，其特征在于，所述对位部(1)内嵌于所述安装部(2)中，所述安装部(2)的外部具有至少一个切面。

6.根据权利要求1所述的对位标记部件，其特征在于，所述对位部(1)包括透明层(6)和点标记(7)，其中，所述点标记(7)位于所述透明层(6)的中心位置，所述透明层(6)为圆形。

7.根据权利要求6所述的对位标记部件，其特征在于，所述点标记(7)的直径在200μm和280μm之间；所述透明层(6)的直径在5mm至8mm之间。

8.根据权利要求1所述的对位标记部件，其特征在于，所述安装部(2)的厚度小于机台上玻璃基板的厚度。

9.根据权利要求8所述的对位标记部件，其特征在于，所述安装部(2)的厚度小于1.5mm。

10.根据权利要求1所述的对位标记部件，其特征在于，在所述机台的不同位置设置有多个对位标记孔，其中，在各个对位标记孔中均设置有螺孔。

11.一种曝光机，其特征在于，具有权利要求1至10中任一项所述的对位标记部件。