[实用新型]硅片清洗设备的抽风通道

权利要求书

1.一种硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：包括设置在设备箱体(11)内部上方的抽风道(2)，和穿透设备箱体(11)上壁与抽风道(2)连通的抽风口法兰(7)；在抽风道(2)侧壁上设有多个抽风孔及分别与抽风孔配合的风量调节板(8)。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述抽风道(2)内部还设有喷淋管(4)，在抽风道(2)底部设有连通到设备箱体(11)外部的废水排放管路(5)。

3.根据权利要求1或2所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述在抽风口法兰(7)上还设有调节阀(6)，调节阀(6)包括位于抽风口法兰(7)外部的旋钮和位于抽风口法兰(7)内部的挡风板；调节阀(6)设置位置高于设备箱体(11)上壁平面。

4.根据权利要求3所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述设备箱体(11)内带有清洗处理工作面(10)，抽风道(2)设置在临近清洗处理工作面(10)处；抽风道(2)靠近清洗处理工作面(10)一侧的抽风孔为前部抽风孔(9)，抽风道(2)远离清洗处理工作面(10)一侧的抽风孔为后部抽风孔(1)。

5.根据权利要求4所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述抽风道(2)远离清洗处理工作面(10)一侧偏下方处还设有风道清理窗口(3)。

6.根据权利要求5所述的硅片清洗设备的抽风通道，其特征在于：所述风量调节板(8)上带有跟抽风孔相对应的开孔，每个风量调节板(8)上设有至少两枚与抽风道(2)侧壁螺纹配合的调节螺栓；风量调节板(8)与调节螺栓配合处为条形孔，故风量调节板(8)与调节螺栓滑配。