[发明专利]弹性波装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于例如频带滤波器及谐振器等的弹性波装置，更详细地说，涉及IDT电极由含有由Al或Al合金构成的金属膜的层叠金属膜构成的弹性波装置。

背景技术

目前，作为移动通讯设备的滤波器及谐振器，广泛使用弹性表面波元件。

例如，在下述的专利文献1中，公开有图9所示的弹性表面波元件。在弹性表面波元件101中，在压电基板102上形成有电极103。电极103为从下方开始依次层叠下部Ti层104、由Mo或W或者它们的金属的合金构成的中间金属层105、上部Ti层106、由Al或Al合金构成的上部导电层107而成。在此，下部Ti层104的厚度设为10nm～30nm，中间金属层105的厚度设为30nm～65nm，上部Ti层106的厚度设为10nm～30nm。由此，形成能够提高耐电力性的元件。

专利文献1：(日本)特开2006-20134号公报

在专利文献1中记载的弹性表面波元件101中，通过层叠上述特定厚度的各金属层能够提高耐电力性。但是，当放置在耐电力试验、软熔焊接等的高温氛围中时，下部Ti层104及上部Ti层106中的Ti就会向相邻的金属层扩散。因此，易产生Ti层的缺损。其结果，位于上部Ti层106的下方的中间金属层105中的Mo或W，容易和位于上方的上部导电层107中的Al互相扩散。因此，存在IDT电极的电极指的电阻增高、频率特性恶化之类的问题。另外，在耐电力试验中，同样地存在以上所述的Ti层106向Al层107扩散而引起频率变动的问题。

发明内容

本发明目的在于提供弹性波装置，其即使放置在高温下，也能够防止形成电极的金属层间的扩散、防止降低电极指的电阻，且不易产生频率特性及耐电力性的恶化。

本发明的弹性波装置具备压电基板和在所述压电基板上形成的IDT电极。IDT电极由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成。该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜、由与第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜、以及配置于第一、第二金属膜间的Cu膜及Ti膜。Cu膜及Ti膜中的Cu膜配置于第一金属膜侧。

在本发明的弹性波装置的某种特定的情况下，所述Al基合金将Al作为主体，含有选自Cu、Si、Mg、Ti、Ag、Ni、Zn、Au及Cr中的至少一种金属。在该情况下，能够提高弹性波装置的耐电力性。

进而在本发明的弹性波装置的其它特定的情况下，所述第二金属膜由选自Pt、Au、Ag、Ta、W、Mo、Pd、Ni及Cr中的至少一种金属或将该金属作为主体的合金构成。在该情况下，能够更有效地提高弹性波装置的耐电力性。

在本发明的弹性波装置中，优选所述Ti膜的膜厚相对于弹性波的波长的波长比在1.5％以下，在该情况下，能够更进一步地抑制弹性波装置的频率特性的降低。

本发明的弹性波装置可以为弹性表面波装置，也可以为弹性界面波装置。在弹性界面波装置的情况下，还具备以覆盖IDT电极的方式设置的电介质层，利用在该电介质层和压电基板的界面之间传播的弹性界面波。

在本发明的弹性波装置中，在由Al或Al基合金构成的第一金属膜和由与第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜之间，配置有Cu膜及Ti膜，Cu膜配置于第一金属膜侧。因此，即使放置在高温下，也能够确实地抑制第一金属膜中的Al和构成第二金属膜的金属之间的相互扩散。从而，能够抑制频率特性的恶化。另外，由于能够抑制Ti向Al扩散，因此不易产生电极指的电阻的恶化，能够抑制耐电力试验中的频率变动。

附图说明

图1(a)是表示本发明第一实施方式的弹性波装置的主要部分的正面剖面图，(b)是表示该电极结构的示意性的平面图；

图2是第一比较例的层叠结构的正面剖面图；

图3是相当于本发明第一实施方式的弹性波装置的、层叠有压电基板和层叠金属膜的层叠结构的正面剖面图；

图4是表示关于图2及图3的各层叠结构的耐热实验结果、且表示加热条件和薄膜电阻值之间的关系的图；

图5是表示第二实施方式的弹性波装置的部分正面剖面图；

图6是用于说明耐电力试验的试验方法的示意性的平面图；

图7是表示本发明一实施方式的弹性波装置的传播特性的图；

图8是表示第二实施方式的弹性波装置及用于比较而准备的第二比较例的弹性波装置的耐电力试验的结果的图；

图9是用于说明现有弹性表面波元件的正面剖面图。

符号说明

1…弹性波装置

2…压电基板

3…IDT电极

3a…Ti膜

3b…AlCu合金膜