[发明专利]基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪

权利要求书

1.一种基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，包括光学匹配系统(1)、分光镜(2)、第一反射镜(3)和第二反射镜(7)、第一傅立叶透镜(4)和第二傅立叶透镜(6)、CCD探测器(8)、计算机系统(9)；其特征在于还包括在第一傅立叶透镜(4)和第二傅立叶透镜(6)组成望远镜系统的共焦平面处添加一个含参考针孔(11)和测试窗口(10)的双孔空间滤波板(5)；按照光路描述，来自光学匹配系统(1)的待测激光光束经分光镜(2)分为两束光，其中透射光束被第一反射镜(3)反射后进入第一傅立叶透镜(4)并通过在其焦平面处双孔空间滤波板(5)上的测试窗口(10)，然后进入第二傅立叶透镜(6)形成缩小光束，被第二反射镜(7)反射后再次返回分光镜(2)作为信号光；而经分光镜(2)的反射光束被第二反射镜(7)反射后进入第一傅立叶透镜(4)并通过在其焦平面处双孔空间滤波板(5)上的参考针孔发生小孔衍射，衍射光经第一傅立叶透镜(4)放大，再经第一反射镜(3)反射后被分光镜(2)再次反射作为参考光；所述信号光和参考光在相互重叠的区域发生干涉并形成干涉条纹。

2.根据权利要求1所述的基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，其特征在于所述分光镜(2)为单波长平板分光镜。

3.根据权利要求1所述的基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，其特征在于所述双孔空间滤波板(5)上的参考针孔(11)孔径大小为爱里斑直径大小量级。

4.根据权利要求1所述的基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，其特征在于所述双孔空间滤波板(5)上的测试窗口(10)为圆形小孔，或者是方形小孔。

5.根据权利要求1或4所述的基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，其特征在于所述双孔空间滤波板(5)上的测试窗口(10)的孔径大小为0.4-2mm。

6.根据权利要求1所述的基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，其特征在于所述的第一反射镜(3)和第二反射镜(7)均为单波长介质膜高反射镜。

7.根据权利要求1所述的基于空间相位调制的环形共光路点衍射干涉仪，其特征在于所述的第一傅立叶透镜(4)和第二傅立叶透镜(7)均为正傅立叶透镜。