[发明专利]薄片粘接方法、薄片粘接装置、叠片制品以及转印处理产品

权利要求书

1.一种将一面具有粘接层的加热粘接薄片粘接在工件上的薄片粘接方法，其特征在于，包括：

使所述加热粘接薄片与所述工件表面贴紧、并使所述粘接层贴紧在所述工件表面上的贴紧工序；以及

向所述工件的周围空间供给蒸汽，并通过来自于所述蒸汽的传热加热所述粘接层，且将所述加热粘接薄片粘接在所述工件上的蒸汽供给工序。

2.根据权利要求1所述的薄片粘接方法，其特征在于，所述贴紧工序包括：

对通过在离开所述工件的位置伸展的所述加热粘接薄片隔开而形成的第一空间以及包含所述工件的第二空间的两空间内的气体分别抽吸，并对所述两空间抽真空，通过调整所述两空间内的气体抽吸速度，对所述加热粘接薄片的变形进行补正的真空工序；以及

通过向所述第一空间内供给气体，使所述加热粘接薄片紧贴在所述工件表面上的气体供给工序。

3.根据权利要求2所述的薄片粘接方法，其特征在于，

具有在所述贴紧工序之后，包围所述工件的周围的包围工序，以及在所述蒸汽供给工序后，将所述工件的周围空间向大气开放的大气开放工序。

4.根据权利要求3所述的薄片粘接方法，其特征在于，

在所述蒸汽供给工序中，在将所述加热粘接薄片贴紧在所述工件上时，从与伸展所述加热粘接薄片的方向垂直的方向向所述工件的周围空间供给蒸汽，并将比所述蒸汽更高温的蒸汽从与伸展所述加热粘接薄片的方向平行的方向供给至所述工件的周围空间。

5.根据权利要求4所述的薄片粘接方法，其特征在于，

所述加热粘接薄片具有基片，和顺序层叠在所述基片上的剥离层、被转印层以及所述粘接层。

6.一种将一面具有粘接层的加热粘接薄片粘接在工件上的薄片粘接装置，其特征在于，包括：

使所述加热粘接薄片与所述工件表面贴紧并将所述粘接层贴紧在所述工件表面上的贴紧装置；以及

向所述工件的周围空间供给蒸汽，通过来自于所述蒸汽的传热加热所述粘接层并将所述加热粘接薄片粘接在所述工件上的蒸汽供给装置。

7.根据权利要求6所述的薄片粘接装置，其特征在于：

所述贴紧装置具有：

一面开口的第一腔室部件；

一面开口，并与所述第一腔室部件夹持所述加热粘接薄片，并在内部具有所述工件的第二腔室部件；以及

在抽吸由所述加热粘接薄片隔开的第一腔室部件内的第一空间，以及由所述加热粘接薄片隔开的第二腔室部件内的第二空间的两空间内的气体、并且所述两空间成为真空之后，通过向所述第一空间供给气体使所述加热粘接薄片贴紧在所述工件表面上的压力控制装置，

所述压力控制装置在抽吸所述第一、第二空间内的气体并且所述两空间成为真空时，通过调整所述第一、第二空间内的气体抽吸速度来补正所述加热粘接薄片的变形。

8.根据权利要求7所述的薄片粘接装置，其特征在于：

所述蒸汽供给装置具有蒸汽供给源、以及包围所述工件周围，并将由所述蒸汽供给源供给的蒸汽从内壁向所述工件侧喷出的间隔壁部件，

所述间隔壁部件设置在所述第一腔室部件的内部并可升降地支承在所述第一腔室部件。

9.根据权利要求8所述的薄片粘接装置，其特征在于，所述间隔壁部件具备覆盖所述工件的上表面的顶板，以及覆盖所述工件的侧面的侧板，

所述顶板和所述侧板分别形成有供给蒸汽的供给通路，并形成有将蒸汽喷向所述间隔壁部件内的空间的蒸汽喷出孔。

10.根据权利要求9所述的薄片粘接装置，其特征在于，包括经由所述供给通路将所述间隔壁部件内的空间向大气开放的排放阀。

11.根据权利要求10所述的薄片粘接装置，其特征在于，所述顶板和所述侧板中分别设置有加热蒸汽的加热器，所述顶板中设置的所述加热器和所述侧板中设置的所述加热器构成为能够独立的进行温度控制。

12.根据权利要求11所述的薄片粘接装置，其特征在于，所述侧板中设置的加热器在所述间隔壁部件向所述工件的周围空间供给蒸汽时，比设置在所述顶板中的加热器将蒸汽加热到更高温度。

13.根据权利要求12所述的薄片粘接装置，其特征在于，所述间隔壁部件的内面施加有远红外线陶瓷涂层。