[发明专利]节省胶膜的贴膜装置

权利要求书

1.节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，包括真空吸附装置，所述真空吸附装置包括吸嘴，所述吸嘴与抽真空装置联通；所述吸嘴可沿水平方向移动地安装；还包括可沿薄膜宽度方向移动的刀具，所述刀具具有一开口，用于割断薄膜。

2.根据权利要求1所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，还包括用于放置晶圆的台盘，所述台盘设置在吸嘴下方，吸嘴的水平方向移动的行程大小使其能够将薄膜覆盖在台盘上放置的晶圆上。

3.根据权利要求2所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的台盘设置在基座上。

4.根据权利要求1所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，还包括滚轮，所述滚轮可转动地安装于滚轮轴上，滚轮轴可沿水平方向移动地安装，滚轮轴的移动行程使其能够对覆盖在晶圆上的薄膜施加压力。

5.根据权利要求4所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述滚轮轴可沿竖直方向移动地安装。

6.根据权利要求1或4所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，还包括有用于切割薄膜的切割刀。

7.根据权利要求6所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述切割刀可沿薄膜宽度方向移动地安装。

8.根据权利要求7所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述切割刀可沿水平方向与吸嘴同步移动地安装，吸嘴设置于切割刀与滚轮之间。

9.根据权利要求6所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述吸嘴与滚轮可同步移动地安装或吸嘴、滚轮与切割刀可同步移动地安装。

10.根据权利要求1所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，还包括两个间隔设置的机架板，机架板可沿水平方向移动地安装；第一横杆两端分别连接在一个机架板上；第一横杆上安装有吸嘴，吸嘴与抽真空装置联通；滚轮可转动地安装于滚轮轴上，滚轮轴两端分别连接在一个机架板上。

11.根据权利要求10所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的两个机架板平行设置。

12.根据权利要求10或11所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的第一横杆可沿竖直方向移动地安装于机架板上。

13.根据权利要求12所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的机架板上设置有第一气缸，第一气缸设置有输出杆；所述输出杆与第一横杆相配合驱动第一横杆沿竖直方向移动。

14.根据权利要求10或11所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的机架板上设置有第二气缸，第二气缸设置有输出杆，滚轮轴至少一端与第二气缸的输出杆相配合，第二气缸的输出杆驱动滚轮轴沿竖直方向移动。

15.根据权利要求10或11所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述机架板上还安装有夹膜装置，所述夹膜装置设置有可允许薄膜穿过的狭缝，夹膜装置设置在滚轮上方。

16.根据权利要求15所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的夹膜装置的狭缝大小可调。

17.根据权利要求15所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的夹膜装置沿薄膜宽度方向可全部夹住薄膜。

18.根据权利要求15所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述的夹膜装置包括固定杆和支撑杆，固定杆与支撑杆之间的间隙为狭缝；所述支撑杆为圆柱形，固定杆设置有内凹槽与支撑杆相配合；所述机架板上设置有第三气缸，第三气缸设置有输出杆，支撑杆的端部与第三气缸的输出杆相配合，由第三气缸的输出杆驱动支撑杆靠近或远离固定杆，以调节狭缝的大小。

19.根据权利要求10所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述机架板上还设置有第二横杆，第二横杆上设置有可沿薄膜宽度方向移动的刀架，刀架下端设置有切割刀。

20.根据权利要求10或11所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，所述机架板与丝杆螺纹配合，所述丝杆与电机主轴连接，由电机主轴驱动丝杆转动。

21.根据权利要求10或11所述的节省胶膜的贴膜装置，其特征在于，还包括导轨，所述的机架板下端设置有导向槽；导向槽与导轨相配合。