[发明专利]二氧化硅玻璃坩埚的制造装置以及制造方法

权利要求书

1.一种二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，是将二氧化硅粉放入模具内并形成二氧化硅粉层，对该二氧化硅粉层进行电弧放电将其加热熔化的，制造二氧化硅玻璃坩埚的装置，其特征在于包括：

规定二氧化硅玻璃坩埚的外形的模具；

具备多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元；

检测在上述模具内产生的烟尘的量的烟尘量测量部。

2.根据权利要求1所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，其特征在于：

上述烟尘量测量部，利用光传感器、图像摄影单元、静电传感器或者介电传感器来测量对上述二氧化硅粉层进行电弧放电时所产生的二氧化硅蒸汽。

3.根据权利要求1所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，其特征在于：

该装置还包括控制单元，其依据上述烟尘量测量部的测量结果，且通过改变上述模具和上述电极之间的相对位置状态、上述模具的位置状态、提供给上述电极的电力、上述电极的位置状态中的任意一种来控制上述模具内的二氧化硅玻璃的熔融状态。

4.根据权利要求3所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，其特征在于：

上述控制单元，依据上述烟尘量测量部的测量结果，至少进行水平方向移动、倾斜、旋转或者回转上述模具的动作，以及，在垂直相对位置上移动上述电极和上述模具的动作中的任意一种的控制。

5.根据权利要求3所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，其特征在于：

上述控制单元，在上述烟尘量测量部检测出相对于基准烟尘量的增减超出20％的烟尘量时，进行改变上述模具和上述电极之间的相对位置状态、上述模具的位置状态、提供给上述电极的电力、上述电极的位置状态中的任意一种的控制。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造装置，其特征在于：

上述烟尘量测量部，设置在收容上述模具以及上述电极并进行电弧放电的炉内，或者，将产生于上述模具内的烟尘向外排出的排出管上的，至少任意一个部位上。

7.一种二氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：

包括将上述二氧化硅粉放入模具内并形成二氧化硅粉层的二氧化硅粉供给工序；以及，用上述多个电极的电弧放电来熔化上述二氧化硅粉层的电弧熔化工序；其中，

在上述电弧熔化工序中，至少检测上述模具内所产生的烟尘的量并熔化上述二氧化硅粉层。

8.根据权利要求7所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：

在上述电弧熔化工序中，利用光传感器、图像摄影单元、静电传感器或者介电传感器来测量对上述二氧化硅粉层进行电弧放电时所产生的二氧化硅蒸汽，以此测量在上述模具内产生的烟尘的量。

9.根据权利要求7所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：

在上述电弧熔化工序中，依据上述烟尘量的测量结果，且通过改变上述模具和上述电极之间的相对位置状态、上述模具的位置状态、提供给上述电极的电力、上述电极的位置状态中的任意一种来控制上述模具内的二氧化硅玻璃的熔融状态。

10.根据权利要求9所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：

在上述电弧熔化工序中，依据上述烟尘量测量部的测量结果，对上述模具进行水平方向移动、倾斜、旋转或者回转的动作，或者，在垂直相对位置上移动上述电极和上述模具的动作中的任意一种的控制。

11.根据权利要求9所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：

在上述电弧熔化工序中，在检测出相对于基准烟尘量的增减超过20％的烟尘量时，进行改变上述模具和上述电极之间的相对位置状态、上述模具的位置状态、提供给上述电极的电力、上述电极的位置状态中的任意一种的控制。

12.根据权利要求7至11中的任意一项所述的二氧化硅玻璃坩埚的制造方法，其特征在于：

在上述电弧熔化工序中，在收容上述模具以及上述电极并进行电弧放电的炉内或者将产生于上述模具内的烟尘向外排出的排出管上的，至少任意一个部位上进行上述烟尘量的测量。