[发明专利]一种电弧钛泵及包括该电弧钛泵的真空抽气机组

权利要求书

1.一种电弧钛泵，包括泵壳、捕集板、阴极弧源构件以及电源，所述捕集板设于所述泵壳的内侧壁，所述阴极弧源构件固设于所述泵壳内，所述阴极弧源构件包括位于外侧的阴极靶材以及位于所述阴极靶材内部的磁性构件，所述电源的正极连接于所述泵壳，所述电源的负极连接于所述阴极靶材，其特征在于：所述泵壳呈圆柱状，所述阴极弧源构件呈圆柱状，所述阴极弧源构件与所述泵壳同轴设置。

2.如权利要求1所述的一种电弧钛泵，其特征在于：所述阴极弧源构件的上方设有挡板，所述挡板可拆卸固定连接于所述泵壳上。

3.如权利要求1所述的一种电弧钛泵，其特征在于：所述泵壳与所述捕集板之间设有可降低所述泵壳与捕集板之间的热阻的导热夹层，所述捕集板可拆卸固设于所述泵壳内。

4.如权利要求1所述的一种电弧钛泵，其特征在于：所述阴极靶材内设有第一冷却水道。

5.如权利要求1所述的一种电弧钛泵，其特征在于：所述阴极靶材采用化学性质活泼的金属元素，或合金制造。

6.如权利要求5所述的一种电弧钛泵，其特征在于：所述阴极靶材采用钛铝合金制造，所述钛铝合金的钛∶铝之间质量比为100∶0至70∶30之间。

7.如权利要求1所述的一种电弧钛泵，其特征在于：所述泵壳的外侧设有第二冷却水道。

8.一种真空抽气机组，包括真空室，其特征在于：所述真空室上连接有分子泵和权利要求1至7中任一项所述的一种电弧钛泵。

9.如权利要求8所述的一种真空抽气机组，其特征在于：所述真空室上还连接有分子泵、前级泵、粗抽泵以及真空规，所述粗抽泵通过第一真空阀与所述真空室相连接，所述分子泵通过第二真空阀与所述真空室相连接，所述泵壳通过第三真空阀与所述真空室相连接，所述前级泵通过第四真空阀连接所述分子泵的排气口。

10.一种权利要求9所述的真空抽气机组，其特征在于：所述分子泵为牵引分子泵或复合分子泵。