[发明专利]制造平板显示器的设备和方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求于2009年12月23日提交的韩国专利申请10-2009-0129799的权益，通过参考的方式援引该专利申请，如同在此完全阐明。

技术领域

本发明涉及一种能够防止在工作台的不均匀表面上生成斑点的平板显示器的制造设备和方法。

背景技术

近年来，已出现能够减小重量和体积的各种平板显示器，所述重量和体积是阴极射线管(CRT)的缺点。这样的平板显示器包括液晶显示器(LCD)、场致发射显示器、等离子体显示面板和电致发光(EL)显示器。

这种平板显示器配置有通过包括沉积(涂覆)、曝光、显影和蚀刻的掩模工序形成的多层薄膜。然而，掩模工序包括复杂的制造组装工序，它的缺点在于高生产成本。因此，最近已在对经由使用压印模具的构图工序来形成薄膜进行探讨和研究。

根据这种构图工序，在基板上涂覆液态聚合物前驱体之后，液态聚合物前驱体接触具有凹槽和凸起的压印模具，此时，该压印模具的凹槽和凸起被反向转印到液态聚合物前驱体上，并且在硬化工序中使该反向转印的液态聚合物前驱体硬化以在基板上形成期望的薄膜图案。

在此，在图1所示的工作台2上安放用于硬化工序的在其上涂覆有的液态聚合物前驱体的现有技术基板。

因为具有石材表面的工作台具有无变形平面的完美平面特点，通常使用这种工作台用于该工作台2。然而，尽管具有良好的平面，工作台2的表面在最低部分和最高部分之间仍具有偏差(D)，例如大约10～30μm。这种不均匀平面将在薄膜图案内产生斑点，并且在增大工作台的情况下，该石材表面工作台2的不均匀平面将恶化。

当在具有不均匀表面的工作台2上安放的基板4接触压印模具8时，因为，施加于液态聚合物前驱体6的正面的压力由于工作台2与基板4之间的接触区域将生成不均匀的压力。这种不均匀的压力使得在基板4上形成的液态聚合物前驱体6的厚度不均匀，这可能看起来像斑点。

发明内容

因此，本发明涉及一种平板显示器的制造设备和方法。

本发明的目的是提供一种平板显示器的制造设备，其能够防止在工作台的不均匀表面上生成的斑点。

本发明的其它优点、目的和特征一部分将在以下的说明中阐明，并且一部分对于本领域普通技术人员在研究下文时变得显而易见，或者可以从本发明的实践中了解。本发明的目的和其它优点可以通过在书面说明书及其权利要求书以及附图中具体指出的结构实现和获得。

为了实现这些目的和其它优点并根据本发明的目的，如在此具体表示和广泛描述的，一种平板显示器的制造设备包括：工作台，在该工作台上安放其上形成有液态聚合物前驱体的基板；压印模具，与该基板的液态聚合物前驱体结合以在基板上形成薄膜图案，该压印模具包括凸起和凹槽；以及平坦化层，形成在所述工作台与基板之间以使该工作台的表面平坦化。

该平坦化层可以包括由聚乙烯尿烷形成的缓冲层。

该平坦化层还可以包括在缓冲层与基板之间形成的滑动层。

该平坦化层还可以包括在缓冲层与工作台之间和缓冲层与滑动层之间形成的粘合层。

该缓冲层的肖氏硬度可以是20～90或者更低，并且该滑动层的静态摩擦系数可以是1或更低。

在本发明的另一方面，一种平板显示器的制造方法包括下列步骤：在工作台上形成平坦化层以使工作台的表面平坦化；在该平坦化层上安放其上形成有液态聚合物前驱体的基板；所述压印模具和基板彼此结合以使包括凹槽和凸起的压印模具压向液态聚合物前驱体；以及所述基板和压印模具彼此分离。

形成平坦化层的步骤可以包括在工作台上形成由聚乙烯尿烷形成的缓冲层。

形成平坦化层的步骤可以包括在缓冲层与基板之间形成滑动层的步骤。

形成平坦化层的步骤可以进一步包括在缓冲层与工作台之间和缓冲层与滑动层之间形成粘合层的步骤。

本发明可以具有下述优点。

根据该平板显示器的制造设备和方法，通过使用平坦化层可以使工作台的不均匀表面平坦化。因此，可以防止由工作台的厚度偏差产生的薄膜图案的斑点。

此外，根据该平板显示器的制造设备和方法，该平坦化层的顶层可以是滑动层。因此，当彼此对准基板和工作台时，该基板的移动可以是有效率的。

应当理解，本发明的上文的概要描述和下文的详细描述是示例性和解释性的，意在提供如要求保护的本发明的进一步解释。

附图说明

给本发明提供进一步理解并结合在本申请中组成本申请一部分的附图图解了本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

在附图中：