[发明专利]制造平板显示器的设备和方法

权利要求书

1.一种平板显示器的制造设备，包括：

工作台，在该工作台上安放其上形成有液态聚合物前驱体的基板；

压印模具，与该基板的液态聚合物前驱体结合以在基板上形成薄膜图案，该压印模具包括凸起和凹槽；以及

平坦化层，形成在所述工作台与基板之间以使该工作台的表面平坦化。

2.如权利要求1所述的制造设备，该平坦化层包括由聚乙烯尿烷形成的缓冲层。

3.如权利要求2所述的制造设备，其中该平坦化层还包括在缓冲层与基板之间形成的滑动层。

4.如权利要求3所述的制造设备，其中该平坦化层还包括在缓冲层与工作台之间和缓冲层与滑动层之间形成的粘合层。

5.如权利要求4所述的制造设备，其中该缓冲层的肖氏硬度是20～90或者更低，并且该滑动层的静态摩擦系数是1或更低。

6.一种平板显示器的制造方法，包括下列步骤：

在工作台上形成平坦化层以使工作台的表面平坦化；

在该平坦化层上安放其上形成有液态聚合物前驱体的基板；

所述压印模具和基板彼此结合以使包括凹槽和凸起的压印模具压向液态聚合物前驱体；以及

所述基板和压印模具彼此分离。

7.如权利要求6所述的制造方法，其中所述形成平坦化层的步骤包括在该工作台上形成由聚乙烯尿烷形成的缓冲层的步骤。

8.如权利要求7所述的制造方法，其中所述形成平坦化层的步骤还包括在缓冲层与基板之间形成滑动层的步骤。

9.如权利要求8所述的制造方法，其中所述形成平坦化层的步骤还包括在缓冲层与工作台之间和缓冲层与滑动层之间形成粘合层的步骤。

10.如权利要求9所述的制造方法，其中所述缓冲层的肖氏硬度是20～90或者更低，并且所述滑动层的静态摩擦系数是1或更低。