[发明专利]一体化探头式微球腔传感器

权利要求书

1.一体化探头式微球腔传感器，包括集成输入光纤(1)、微球腔(2)、集成输出光纤(3)；其特征在于：所述的微球腔为球形的形状，并与集成输入光纤、集成输出光纤集成为一体，微球腔作为光传输载体和外部参量探头，所述集成输入光纤，作为光信号输入端，所述集成输出光纤，作为光信号输出端；该微球腔传感器是将激光输入，光耦合、光传输及光探测一体化集成的传感器。

2.如权利要求1所述的一体化探头式微球腔传感器，其特征在于：所述微球腔的赤道面直径为：150μm-500μm；所述集成输入光纤与集成输出光纤的直径为：2μm-3μm。

3.如权利要求1所述的一体化探头式微球腔传感器的制作方法，所述集成输入光纤(1)与集成输出光纤(3)均利用单模标准光纤制备，其特征在于：首先，应用光纤剥线钳进行剥纤以祛除单模光纤包层，并应用酒精进行清洗；其次，所述的微球腔与集成输入光纤和集成输出光纤采用对接方式连接，是利用CO₂激光器加热集成输入光纤和集成输出光纤的对接末端，然后依靠融融状态下二氧化硅的表面张力使之对接形成。