[发明专利]一种对硅片切削废液的回收方法

权利要求书

1.一种对硅片切削废液的回收方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)对硅片切削废液进行固液分离，在分离后的液相中，首先加入酸反应后，加入氨水调节PH值至7～8，加入活性碳脱色，然后经过滤除杂，滤液进行减压蒸馏，得到聚乙二醇；

(2)对所述切削废液固液分离所得的固相先进行6～9次水洗，所得水洗液首先调节PH值至4～6后过滤，过滤所得固体物料经减压干燥得到硅粉；

(3)对步骤(2)中水洗后的固相分别经碱洗和酸洗，所述碱洗在温度为70～80℃时进行，然后经过滤烘干，得到碳化硅微粉；

(4)将步骤(2)所得滤液和步骤(3)中所得的洗液和滤液混合后，调节PH值至4～6后过滤，所得滤液作为生产用水循环利用。

2.如权利要求1所述的对硅片切削废液的回收方法，其特征在于：步骤(1)中，所述固液分离采用过滤、离心、真空抽滤、高压压滤方式中的一种或几种；所述加入酸反应时加入的酸为盐酸、硫酸、硝酸或醋酸，所述酸的加入量为所述液相的5～40wt％；所述过滤除杂后，滤液再经过离子膜或离子交换树脂后，再进行减压蒸馏。

3.如权利要求1所述的对硅片切削废液的回收方法，其特征在于：步骤(3)中，所述碱洗和酸洗后分别包括经过水洗冲洗到中性的步骤。

4.如权利要求1所述的对硅片切削废液的回收方法，其特征在于：步骤(4)中，过滤所得滤渣回收至步骤(3)中，与清洗后的固相混合。

5.如权利要求1所述的对硅片切削废液的回收方法，其特征在于：步骤(4)中，所得滤液调节PH值为7～8，并经过滤后作为生产用水循环使用。