[发明专利]一种发光二极管成品电性参数测试的校准方法在审
申请号: | 201010253763.9 | 申请日: | 2010-08-06 |
公开(公告)号: | CN102375134A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 肖志国;高百卉;武胜利;王力明;高本良;陈向东 | 申请(专利权)人: | 大连美明外延片科技有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116025 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 成品 参数 测试 校准 方法 | ||
技术领域
本发明专利涉及一种半导体芯片的测试校准方法,属于半导体技术领域
技术背景
固态照明技术是在二十一世纪具有产业革命意义的重大技术,在世界范围内,从政府到企业都引起了很大的关注,固态照明技术的主要内容是半导体发光二极管器件在照明产业中的应用。
能够在得到最准确数据的前提下再得到更高的产量,是每个LED企业追求的目标。但是在现阶段,没有一种最简单最准确的发光二极管成品电性参数测试的校准方法,导致我们在LED裸芯测试时对机器校准方面花费大量的时间。普通的发光二极管亮度校准方法为:采用晶粒校准法。即在机台需要校准时,取不同规格的晶粒,在Gain和Offset都为1,0时,测试得到一组x1、x2和x3的值,并与同组的亮度的真实值y1、y2和y3的值同时带入公式y=ax+b(Regression)得到一组Gain和Offset校准数值。此方法需要经常更换校准的样品片,制作复杂,又不易得到最准确的校准数值。
因此,需要一种新的发光二极管成品电性参数测试的校准方法,减少普通校准方法需要的大量时间,提高了测试的产量。
发明内容
本发明的目的是提供一种发光二极管成品电性参数测试的校准方法,通过亮度补偿值的方法提高亮度校准的准确性,减少普通校准方法需要的大量时间,提高了测试的产量。
发光二极管成品电性参数测试系统,包括半自动探针测试机台、光电参数测试仪器两部分构成,半自动探针测试机台包括载片台、xy轴移动滑杆、金相显微镜或实体显微镜、真座以及与测试仪相互通讯的接口,光电参数测试仪包括对所测试发光二极管的数据进行处理的数据处理装置、以及实现数据处理装置与半自动探针台相互通讯的接口。
本发明采用如下技术方案:一种发光二极管成品电性参数测试的校准方法,包括如下步骤:
步骤1:将半自动探针测试机台针座的压力值调至低于10g,并固定每探针台真座的压力值;
步骤2:使用新更换的点测针对机器做校准,得到每台机器的固有亮度真实值直线图,得到了真实值直线图对应的Gain和Offset的值;
步骤3:找到阶段性亮度偏差值;
步骤4:在需要校准的时间点,从本机台的偏差值曲线图上找到对应时间的亮度衰减数值,再在本机台亮度真实值直线图上补偿回来即可。
步骤3所述的偏差值为由于点测针的磨损程度发生了变化,导致点测针的挡光程度发生的变化,造成测试亮度与实际亮度偏移,当亮度偏移到允许变化的范围以外,此阶段即为需要对机器做重新校准的时间;
本发明的优点在于:将每台半自动测试机台针座的压力值调至低于10g,将针的磨损程度降到最低,得到了每机台的亮度真实值直线图,并得到每个阶段的亮度衰减值曲线图,就可以在衰减图上找到相应的亮度衰减值,并在亮度真实值直线图上,将亮度衰减值补偿回来即可。此亮度补偿值的校准方法,比以往的晶粒校准方法可以节省至少80%的校准时间,并能够得到更精确的校准值,在保证得到准确数据的前提下还可以得到更高的产量。
附图说明
图1本机台固有的亮度真实值直线图。
图2本机台固有的亮度衰减值曲线图。
图3本机台在固有的时间点上亮度变化直线图与真实值直线图的比较。
实施例1:
步骤1:将半自动探针测试机台针座的压力值调至低于10g,并固定每探针台真座的压力值;
步骤2:使用新更换的点测针对机器做校准,如图1所示,X轴代表在Gain和Offset为1和0时,测得的发光二极管的亮度值;Y轴代表发光二极管的真实亮度值。假设图中的X和Y为以下数值:(x1,y1)=(3,80);(x2,y2)=(5,120);(x3,y3)=(7,150)。通过此三组数据固定了其中一台机台的亮度真实值直线图,并带入公式y=ax+b(Regression)(公式中a和b分别代表Gain和Offset的值,x代表在Gain和Offset为1和0时,测得的发光二极管的亮度值,y代表发光二极管的亮度真实值),得到y=17.5x+29.167、R2=0.9932,即Gain和Offset的值分别为17.5和29.167,得到的R2代表线性回归,R2越接近1代表数据越接近真实值;
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