[发明专利]压电振动器、电压振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

近年来，在便携电话或便携信息终端设备上，采用利用由水晶等的压电材料构成的压电振动片作为时刻源或控制信号的定时源、参考信号源等的压电振动器。作为压电振动片，采用具备一对振动腕部的音叉型压电振动片。

作为这种压电振动器，众所周知表面安装型(SMD：Surface Mount Device)的压电振动器。

如图21及图22所示，作为表面安装型的压电振动器200，提出用基底基板201和盖基板202形成组装件(package)209，并在组装件209的内部形成的空腔C收容具有一对振动腕部204的压电振动片203的压电振动器。在该压电振动片203中，在振动腕部204的前端部形成有用以调整压电振动器200的频率的重锤金属膜211，在振动腕部204的基端部用与重锤金属膜211不同的材料形成有使一对振动腕部204沿互相接近或分离的方向振动的激振电极212。

可是，压电振动器一般要求抑制等效电阻值(有效电阻值，Re)为低值。等效电阻值低的压电振动器可以用低电力来使压电振动片振动，因此成为能量效率良好的压电振动器。

作为抑制等效电阻值的一般的方法之一，众所周知如图21及图22所示那样使密封压电振动片203的空腔C内接近真空，从而降低与等效电阻值有比例关系的串联谐振电阻值(R1)的方法。再者，作为使空腔C内接近真空的方法，众所周知从外部对形成在振动腕部204上的吸气膜220照射激光而使之激活的方法(吸气法)(参照下述专利文献1)。吸气膜220用与激振电极212相同的材料(例如，铝)，从激振电极212朝着重锤金属膜211一侧连续形成。

专利文献1：日本特许第3998948号

但是，上述传统的压电振动器中，重锤金属膜和吸气膜(激振电极)用彼此不同的材料形成，因此在制造压电振动器的过程中不得不将两者分开形成，存在效率差的问题。

发明内容

本发明鉴于上述状况构思而成，其目的在于提供能够有效率地制造的压电振动器及其制造方法。

本发明为了解决上述课题提供以下方案。

本发明的压电振动器的特征在于，包括：音叉型压电振动片，该压电振动片具有一对振动腕部、形成在所述振动腕部的基端部的激振电极、及形成在所述振动腕部的前端部的重锤金属膜；以及组装件，该组装件在内部收容所述压电振动片，在所述振动腕部的基端部与前端部之间的中间部形成有吸气膜，该吸气膜形成有激光照射疵痕，所述激振电极所包含的第一金属膜、所述重锤金属膜所包含的第二金属膜及所述吸气膜用相同的材料形成。

依据本发明，由于激振电极所包含的第一金属膜、重锤金属膜所包含的第二金属膜及吸气膜用相同的材料形成，在制造该压电振动器的过程中，可在振动腕部同时形成第一金属膜和第二金属膜和吸气膜，并能有效率地制造。由此，能够谋求该压电振动器的低成本化。

此外，所述吸气膜形成在所述中间部的整个区域也可。

这时，由于吸气膜形成在中间部的整个区域，能够扩大振动腕部上可吸气的吸气区域。

而且，由于第一金属膜、第二金属膜和吸气膜用相同的材料形成，即使在中间部的整个区域形成吸气膜，第一金属膜、第二金属膜和吸气膜也不会互相扩散。

此外，所述激振电极被绝缘膜覆盖也可。

这时，激振电极被绝缘膜覆盖，因此当对吸气膜照射了激光时，即便被照射激光的部分向激振电极一侧飞散也可以使之附着到绝缘膜，能够抑制飞散的吸气膜附着到激振电极。由此，能够消除因飞散的吸气膜的附着而会使激振电极短路的顾虑。

此外，所述第一金属膜、所述第二金属膜和所述吸气膜用铬、钛、钒或锆中的一种形成也可。

这时，能够确实地发挥上述的作用效果。

此外，本发明的压电振动器的制造方法，其特征在于制造包括音叉型压电振动片和在内部收容所述压电振动片的组装件的压电振动器，所述压电振动片具有一对振动腕部、形成在所述振动腕部的基端部的激振电极和形成在所述振动腕部的前端部的重锤金属膜，在所述振动腕部的基端部与前端部之间的中间部形成有吸气膜，该吸气膜形成有激光照射疵痕，在所述压电振动器的制造方法中，所述激振电极所包含的第一金属膜、所述重锤金属膜所包含的第二金属膜和所述吸气膜用相同的材料形成，并且具备在所述振动腕部同时形成所述第一金属膜、所述第二金属膜和所述吸气膜的工序。