[发明专利]压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟及压电振动片的制造方法

权利要求书

1.一种压电振动片，其特征在于，包括压电板和激振电极，

该压电板具有平行配置的一对振动腕部、将该一对振动腕部的基端部固定成一体的基部、以及在一对振动腕部的主表面上从该振动腕部的基端部朝着前端部以一定宽度纵向较长地形成的沟部，

该激振电极形成在所述压电板的外表面上，在被施加电压时使所述一对振动腕部振动，

所述激振电极包括：

主表面电极部，形成在所述沟部内和包围该沟部的所述振动腕部的主表面上；

侧面电极部，形成在所述振动腕部的侧面上；以及

连接电极部，以与所述侧面电极部连接的方式形成在所述振动腕部的主表面上，并且经由所述基部的主表面上而迂回至另一振动腕部一侧之后，连接到该振动腕部一侧的所述主表面电极部，

所述主表面电极部形成为使所述振动腕部的基端部侧的横宽窄于其它部分的横宽，以在靠近叉头部的所述振动腕部的主表面上确保空白区域，

所述连接电极部形成为宽幅，以在所述振动腕部的主表面上利用所述空白区域接近所述沟部的开口端一侧。

2.权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：所述连接电极部在从所述振动腕部的基端部朝着前端部的100μm～200μm的范围内形成为宽幅。

3.权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于：所述连接电极部形成为所述宽幅的部分的横宽至少在10μm以上。

4.一种压电振动片的制造方法，利用由压电材料构成的圆片，一次性制造多个压电振动片，其特征在于，包括：

外形形成工序，利用光刻技术来蚀刻所述圆片，形成多个具有平行配置的一对振动腕部、和将该一对振动腕部的基端部固定成一体的基部的压电板的外形形状；

沟部形成工序，在所述一对振动腕部的主表面上形成沟部，该沟部从该振动腕部的基端部朝着前端部以一定宽度纵向较长地形成；

电极形成工序，通过进行穿过掩模的曝光，来在多个所述压电板的外表面上对电极膜进行构图，形成当被施加电压时使所述一对振动腕部振动的激振电极；以及

切断工序，将多个所述压电板从所述圆片切断而小片化，

在进行所述电极形成工序时，形成所述激振电极，以使该激振电极具有：

形成在所述沟部内和包围该沟部的所述振动腕部的主表面上的主表面电极部、

形成在所述振动腕部的侧面上的侧面电极部、以及

连接电极部，该连接电极部以与所述侧面电极部连接的方式形成在所述振动腕部的主表面上，并且经由所述基部的主表面上而迂回到另一振动腕部一侧之后，与该振动腕部一侧的所述主表面电极部连接，并且

在形成所述主表面电极部时，形成为使所述振动腕部的基端部侧的横宽窄于其它部分的横宽，以在靠近叉头部的所述振动腕部的主表面上确保空白区域，

在形成所述连接电极部时，形成为宽幅，以在所述振动腕部的主表面上，利用所述空白区域接近所述沟部的开口端一侧。

5.如权利要求4所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：在进行所述电极形成工序时，所述连接电极部在从所述振动腕部的基端部朝着前端部的100μm～200μm的范围内形成为宽幅。

6.如权利要求4或5所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：在进行所述电极形成工序时，所述连接电极部的宽幅的部分形成为横宽至少在10μm以上。

7.一种压电振动器，其特征在于：具有权利要求1至3中任一项所述的压电振动片。

8.如权利要求7所述的压电振动器，其特征在于具备：

基底基板，在该基底基板的上表面装配所述压电振动片；

盖基板，以在空腔内收容所装配的所述压电振动片的状态与所述基底基板接合；以及

一对外部电极，该一对外部电极形成在所述基底基板的下表面，并且分别对所装配的所述压电振动片的所述激振电极电连接。

9.如权利要求7所述的压电振动器，其特征在于具备：

外壳，在该外壳的内部收容所述压电振动片；以及

使所述外壳内密封的气密端子，该气密端子具有：底座，该底座形成为环状并且压入并固定在所述外壳内；2个引线端子，以贯通该底座的状态进行配置，在其间夹着底座而其一端侧成为分别与所述激振电极电连接的内部引线，其另一端侧成为分别与外部电连接的外部引线；以及填充材料，使该引线端子和所述底座固定。