[发明专利]一种载板定位装置及定位方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种载板定位装置及定位方法。

背景技术

在制造太阳能电池时，利用如图1a所示的太阳能PECVD(Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备，首先在装卸载区1将多个电池片放置在一个大的载板上，然后将载板连通电池片通过载板升降台2和传输线传入工艺腔3中进行工艺，工艺完成后再将载板通过载板升降台4和返回线5传输回装卸载区1，将已工艺的电池片卸下，装载新的电池片，重复上述流程。在大规模生产时，就需要自动装卸载设备对载板上的电池片进行装卸载。

在自动装卸载设备工作时，首先对载板进行定位，然后通过机械手将电池片放入载板上设定的格子中，载板的结构如图1b所示。自动装卸载设备能否将电池片准确放入载板的格子之中，在很大程度上取决于载板定位是否准确，如果不能精确定位载板，即使机械手的精度再高，也无法将电池片放到指定的位置，而这直接影响后续对电池片的处理结果，因此，载板的定位装置至关重要。

现有技术中，如图2所示，载板定位装置包括A、B、C三组定位汽缸，每组各有两个汽缸，三组定位汽缸依次位于载板的三个侧边处，每组的两个汽缸之间设有一定的间距。在载板到达装卸载区后，A组中的汽缸A1、A2将载板推动到载板所在平面的X方向的特定位置，然后，B组中的汽缸B1、B2在载板所在平面的Y方向推动载板，最后C组的小推力气缸C1、C2将载板抱紧。其中，X、Y方向为载板所在平面的相互垂直的两个方向，X方向即图2中水平向右的方向。

然而上述定位装置在很多情况下仍然无法对载板进行准确定位。例如，载板位置与气缸推力、载板的材质有较大关系，当气缸A1、A2推动不同质量的载板到X方向的指定位置后，由于各载板惯性不同，载板继续沿X方向运动的距离就会有差别。而且，当载板与汽缸A1、A2接触时，摩擦力的作用使得气缸B1、B2推动时受到的力不同，导致B2伸出，但B1无法完全伸出，而C组气缸推力较小，无法纠正载板位置，这时，载板会逆时针旋转。

因此，现在急需一种载板定位装置可以提高对载板定位的准确度。

发明内容

本发明实施例提供一种载板定位装置及定位方法，能够提高对载板定位的准确度。

为了解决上述技术问题，本发明实施例的技术方案如下：

一种载板定位装置，包括至少两组用于定位载板的汽缸，其中，第一组汽缸靠近所述载板的第一侧边，第二组汽缸靠近所述载板的第二侧边，所述第一侧边与所述第二侧边相对，所述第二组汽缸具有第一定位附件，所述第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相匹配。

进一步，所述第二组汽缸上的第一定位附件为定位柱，所述载板第二侧边上的第二定位附件为朝向所述载板内部凹陷的槽口，所述定位柱与所述槽口相匹配。

进一步，所述第二组汽缸上的第一定位附件为朝向所述第二组汽缸凹陷的槽口，所述载板第二侧边上的第二定位附件为定位柱，所述定位柱与所述槽口相匹配。

进一步，所述定位柱的形状为圆柱形，所述槽口的形状为半圆形。

进一步，所述第一组汽缸包括一个汽缸。

进一步，所述第一组汽缸位于所述第一侧边的中间位置，且所述第一组汽缸的宽度大于等于所述第一侧边的1/3。

进一步，所述第二组汽缸包括两个汽缸，所述两个汽缸设置在所述第二侧边的两端处。

进一步，所述第二组汽缸上还具有用于根据对标识物的检测确定载板定位结果的接近传感器，所述标识物位于所述第二侧边上的第二定位附件处。

一种载板定位方法，包括：

载板定位装置的第一组汽缸靠近载板的第一侧边，推动所述载板至所述载板的第二侧边靠近所述载板定位装置的第二组汽缸，其中，所述第一侧边与第二侧边相对；

当所述第二组汽缸上的第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相配合时，完成所述载板的定位。

进一步，所述第二组汽缸上的第一定位附件与所述载板第二侧边上的第二定位附件相配合，具体为：

所述第二组汽缸上的圆柱形定位柱卡入所述载板第二侧边上的半圆形槽口中。

进一步，还包括：

当所述第二组汽缸上的接近传感器检测到标识物时，完成所述载板的定位，所述标识物位于所述第二侧边上的第二定位附件处。

进一步，还包括：

当所述第二组汽缸上的接近传感器检测不到所述标识物时，发出警报。