[发明专利]一种薄膜的测漏装置及检测方法

权利要求书

1.一种薄膜的测漏装置，其特征在于：包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖；

孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方，凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔；孔板或钢性筛网扣置于凹槽上，环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方，将孔板或钢性筛网压紧于底座上。

2.根据权利要求1所述的测漏装置，其特征在于：

应用时，被测薄膜置于底座与孔板或钢性筛网，在底座与被测薄膜间设置有第二密封垫，在孔板或钢性筛网与被测薄膜间设置有第一密封垫。

3.根据权利要求1所述的测漏装置，其特征在于：环形上盖与底座通过螺栓和螺母锁紧，孔板或钢性筛网压紧于底座与环形上盖之间。

4.根据权利要求1所述的测漏装置，其特征在于：所述孔板上开设有￠2-￠20mm的通孔，每平方分米2-1600个。

5.根据权利要求1所述的测漏装置，其特征在于：在底座的侧壁上设有通入凹槽内的压力表插入口。

6.一种薄膜的检测方法，其特征在于：

采用权利要求1所述测漏装置；在底座上面放置第二密封垫，第二密封垫上放置被测薄膜，被测薄膜上放置第一密封垫，第一密封垫上放置孔板或钢性筛网，孔板或钢性筛网上放置上盖，上盖与底座间穿置螺栓，螺栓通过螺母锁紧；

在压力表插入口中插入压力表；从底座的进气孔处向凹槽通入空气，使凹槽与薄膜间的空间内充满空气，通入空气压力在0.01MPa-0.03Mpa之间，持续3分钟以上，通过压力表观测空气压力的变化，判断凹槽与薄膜间的空间内气体有无泄漏，即可判断出薄膜有无泄漏。