[发明专利]基于锯式切割QFN封装基板的烧结金属基金刚石锯刀

权利要求书

1.基于锯式切割QFN封装基板的烧结金属基金刚石锯刀，其特征在于：包括金刚石磨粒和金属胎体，金刚石磨粒的体积百分浓度为50-80％，粒度为25-75μm，金属胎体包括金属粉末和无机填料，金属粉末由Cu粉或CuSn20预合金粉末、Sn粉和Co粉组成，无机填料由SiC和Al₂O₃组成，金属胎体按高含量元素形成了以Cu和Co为基体的两种系列，具体化学成份与重量比如下：

(1)Cu基胎体组成

Cu基胎体由95-98重量份的金属粉末和2-5重量份的无机填料组成，按组成Cu基胎体的金属粉末各组元加入形式的不同，Cu基胎体具有两种组成形式：一种组成Cu基胎体的金属粉末包括70-85重量份的Cu、10-20重量份的Sn、5-10重量份的Co，上述金属单质粉末粒度为38-45μm，组成Cu基胎体的无机填料包括1-4重量份的SiC和1-4重量份的Al₂O₃，SiC和Al₂O₃粒度均为5-10μm；另一种组成Cu基胎体的金属粉末包括32-50重量份的CuSn₂₀预合金粉末、30-48重量份的Cu、4-10重量份的Sn、5-10重量份的Co，上述金属单质粉末的粒度为38-45μm，CuSn₂₀预合金粉末的粒度为45-53μm，组成Cu基胎体的无机填料包括1-4重量份的SiC和1-4重量份的Al₂O₃，SiC和Al₂O₃粒度均为5-10μm；

(2)Co基胎体组成

Co基胎体由95-98重量份的金属粉末和2-5重量份的无机填料组成，组成Co基胎体的金属粉末包括50-68重量份的Co、3-10重量份的Sn和25-40重量份的Cu，上述金属粉末粒度为38-45μm，组成Co基胎体的无机填料是1-4重量份的SiC和1-4重量份的Al₂O₃，SiC和Al₂O₃粒度均为5-10μm。

2.根据权利要求1所述的基于锯式切割QFN封装基板的烧结金属基金刚石锯刀，其特征在于：包括金刚石磨粒和金属胎体，金刚石磨粒的体积百分浓度为55％，粒度为38μm，金属胎体由98重量份的金属粉末和2重量份的无机填料组成，组成金属胎体的金属粉末包括74重量份的Cu、17重量份的Sn和7重量份的Co，上述金属单质粉末粒度均为45μm，组成金属胎体的无机填料包括1重量份的SiC和1重量份的Al₂O₃，SiC和Al₂O₃粒度均为5μm。

3.根据权利要求1所述的基于锯式切割QFN封装基板的烧结金属基金刚石锯刀，其特征在于：包括金刚石磨粒和金属胎体，金刚石磨粒的体积百分浓度为60％，粒度为45μm，金属胎体由97重量份的金属粉末和3重量份的无机填料组成，组成金属胎体的金属粉末包括80重量份的Cu、10重量份的Sn和7重量份的Co，上述金属单质粉末粒度均为38μm，组成金属胎体的无机填料包括1重量份的SiC和2重量份的Al₂O₃，SiC和Al₂O₃粒度均为6μm。

4.根据权利要求1所述的基于锯式切割QFN封装基板的烧结金属基金刚石锯刀，其特征在于：包括金刚石磨粒和金属胎体，金刚石磨粒的体积百分浓度为65％，粒度为45μm，金属胎体由96重量份的金属粉末和4重量份的无机填料组成，组成金属胎体的金属粉末包括45重量份的CuSn₂₀预合金粉末、37重量份的Cu、6重量份的Sn和8重量份的Co，上述金属单质粉末的粒度均为38μm，CuSn₂₀预合金粉末的粒度为45μm，组成金属胎体的无机填料包括2重量份的SiC和2重量份的Al₂O₃，SiC和Al₂O₃粒度均为7μm。