[发明专利]一种制作太阳能电池片的刻蚀装置以及方法

权利要求书

1.一种制作太阳能电池片的刻蚀装置，其特征在于：包括垫子(1)，垫子(1)与硅片(2)接触的表面上含有刻蚀溶液(4)。

2.如权利要求1所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀装置，其特征在于：垫子(1)的横截面可以是长方形、正方形、梯形、椭圆形、圆形等任意一种形状。

3.如权利要求1或2所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀方法，包括，经过硅片制绒、扩散工序后得到表面覆盖有扩散层(3)的硅片(2)，其特征在于：  将表面覆盖有扩散层(3)的硅片(2)需要去除扩散层(3)的部位与垫子(1)接触，垫子(1)上的刻蚀溶液(4)对表面覆盖有扩散层(3)的硅片(2)需要去除扩散层(3)的部位进行刻蚀，完成刻蚀工序。

4.如权利要求3所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀方法，其特征在于：刻蚀溶液(4)可以是酸溶液。

5.如权利要求3所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀方法，其特征在于：刻蚀溶液(4)可以是碱溶液。

6.如权利要求3所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀方法，其特征在于：所述的接触时间为0.01-100分钟。

7.如权利要求3所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀方法，其特征在于：所述的垫子(1)的材料可以为PFA、PVDF、PTFE中的任意一种材料。

8.如权利要求3所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀方法，其特征在于：所述的垫子(1)和硅片(2)是可以进行相对移动的。

9.如权利要求3所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀方法，其特征在于：所述垫子(1)与硅片(2)接触的表面的刻蚀溶液(4)是通过喷射的方式上去。

10.一种太阳能电池片的刻蚀方法，其中：装有刻蚀溶液(4)的容器口连接喷射通道(6)的一端，喷射通道(6)上设有控制器(7)，喷射通道(6)的另一端通过垫子(1)进入到垫子(1)与硅片(2)接触的表面上的刻蚀溶液(4)中。