[发明专利]X射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种对物品照射X射线，检测物品内的异物的X射线检查装置。

背景技术

一直以来，为了检测出物品内的异物而使用X射线检查装置等。对于这些X射线检查装置的研究开发每天都在进行。

在专利文献1中公开了一种放射线检测器用部件，其能够线焊所需的空间最小，容易实现放射线检测器的小型化和制作，并且使二维检测装置的制作变得容易。该放射线检测器用部件被用于X射线检查装置中。

专利文献1中所述的放射线检测器用部件包括被配置在基板上面的一部分区域上的光电元件，输出基于该光电元件所接收的光的强度的电信号。该光电元件在其受光面上具有第一衬垫。放射线检测器用部件包括：被配置在基板的其它区域上的衬垫形成部、和在该衬垫形成部上所形成的第二衬垫。第二衬垫按照与被配置在光电元件的受光面上的第一衬垫形成同一平面的方式配置，并且与第一衬垫电连接。

而且，在专利文献1中所述的放射线检测器用部件中，在比光电元件的受光面更靠近受光方向的上游一侧还具备光波导路(参照专利文献1的权利要求22以及图7)。

专利文献1：特开2003-084066号公报

例如，在专利文献1所述的放射线检测用部件中，使用准直仪14作为光波导管，仅用于检测平行光的例子(参照专利文献1的图7)。但是，如专利文献1中记载的图7所示，使光电二极管阵列2与闪烁器阵列11的大小一致，在形成矩阵的情况下，模具费用等、制造工艺所需费用极大。

因此，从降低成本的观点来看，如果考虑使用光学粘合剂在光电二极管阵列(以下简称PDA)2上粘合闪烁器阵列11的粘合工艺，那么，PDA2的宽度很小，为0.1mm～0.9mm左右，在此情况下，闪烁器阵列11的宽度也必须为数mm。

因此，由于闪烁器阵列11比PDA2大，所以被闪烁器阵列11变换的可见光相对于PDA2衍射，微小的检出物的检测变得困难。以下，对该衍射进行说明。

图10是用于说明使微小异物的检测降低的状态的断面示意图。

如图10所示，在现有的X射线检查装置900中，从X射线照射装置200照射X射线S1，X射线S1透过传送带801，从闪烁器300的闪烁元件310a、310b、310c、310d、310e发出可见光。并且该可见光射入到PDA400中，发出电信号。

像这样，在照射X射线S1的情况下，闪烁器300的闪烁元件310a、310b、310c、310d、310e朝向全方位360度的方向发出可见光。因此，在物品内存在微小异物的情况下，从位于微小异物的下方的闪烁元件不发出可见光。但是，由于存在多个闪烁元件，因此，通过位于物品内的微小异物的下方附近的闪烁元件被变换的可见光就会射入到PDA400中。由此，光电二极管阵列400中的微小异物的电信号边缘变薄，难以检测出物品内有无微小异物。

发明内容

本发明的目的在于提供一种采用简单的构造就能准确地检测出微小异物的X射线检查装置。

(1)本发明涉及的X射线检查装置包括：X射线照射装置、闪烁器、槽缝部件、和光电二极管阵列，其输送检查对象物并检测出所述检查对象物内的异物。X射线照射装置对检查对象物照射X射线。闪烁器沿着与输送方向交叉的方向延伸设置，将从X射线照射装置照射的X射线变换成可见光。槽缝部件形成有沿着与输送方向交叉的方向延伸设置的槽缝，并且相对于闪烁器被配置在X射线照射一侧。光电二极管阵列沿着闪烁器的设置方向而设置，检测出通过闪烁器进行光变换而得到的可见光，并将该可见光变换成电信号。槽缝部件的槽缝宽度比闪烁器的宽度小，为光电二极管阵列的受光宽度的二分之一以上。

在本发明的X射线检查装置中，X射线从X射线照射装置被照射在检查对象物上，通过槽缝部件的槽缝的X射线通过闪烁器被变换成可见光，被变换得到的可见光通过光电二极管阵列而被检测出，并被变换成电信号。

在此情况下，槽缝部件的槽缝宽度比闪烁器的宽度小，是光电二极管阵列的受光宽度的二分之一以上的大小。因此，能够用闪烁器将通过槽缝部件的槽缝的X射线准确地进行光变换，利用光电二极管阵列变换成电信号。

而且，在检测出检查对象物内的微小异物的情况下，利用槽缝部件能够防止可见光的衍射，能够明确微小异物的边缘。根据上述内容，通过简单的构造就能够准确地检测出微小的异物。

(2)本发明的X射线检查装置还可以包括：照射宽度调整机构，其用于调整通过所述槽缝被照射在所述闪烁器上的照射宽度。