[发明专利]光刻胶干燥设备和方法

权利要求书

1.一种光刻胶干燥设备，包括真空室，所述真空室中设置有用于承载基板的机台，所述真空室的壁面上开设有抽气孔，其特征在于，还包括：

强制对流部件，设置在所述真空室中，用于在所述真空室中形成空气对流，以促进所述基板上光刻胶中的溶剂挥发。

2.根据权利要求1所述的光刻胶干燥设备，其特征在于：所述强制对流部件为风扇。

3.根据权利要求2所述的光刻胶干燥设备，其特征在于：所述风扇包括多个扇叶，悬吊在所述机台的上方，所述多个扇叶呈放射状均匀布设。

4.根据权利要求3所述的光刻胶干燥设备，其特征在于：所述风扇悬吊在抽气孔的下方。

5.根据权利要求3所述的光刻胶干燥设备，其特征在于：所述多个扇叶的尾端连接在一个固定环上。

6.根据权利要求1所述的光刻胶干燥设备，其特征在于：所述强制对流部件为形成在所述真空室壁面上的通风孔，所述通风孔连接鼓风机以形成空气对流。

7.根据权利要求1～6任一所述的光刻胶干燥设备，其特征在于：所述抽气孔的数量为至少一个，均匀或非均匀地布设在所述真空室的壁面上。

8.根据权利要求1～6任一所述的光刻胶干燥设备，其特征在于：所述机台的上表面还设置有凹槽，用于固定所述基板。

9.一种光刻胶干燥方法，其特征在于，包括：

将涂覆有光刻胶的基板置于真空室内，在所述真空室进行强制通风以形成空气对流，以促进所述基板上光刻胶中的溶剂挥发；

对所述真空室进行抽真空操作。

10.根据权利要求9所述的光刻胶干燥方法，其特征在于，在所述真空室进行强制通风以形成空气对流包括：

在所述真空室中开启风扇进行强制通风，以形成空气对流。