[发明专利]硅锭的抛光方法、系统及抛光板

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池用硅片的制造技术领域，特别涉及一种硅锭的抛光方法、系统及抛光板。

背景技术

新能源和可再生能源是21世纪世界经济发展中最具决定性影响的技术领域之一。光伏电池是一种重要的可再生能源，既可作为独立能源，亦可实现并网发电，而且是零污染排放。硅太阳能电池由于成本原因，最初只能用于空间，但是随着技术发展和工艺成熟，应用也逐步扩大。面对今天的能源供应状况和日益严重的环境污染，硅太阳能电池更是得到了更广泛的使用。

硅太阳能电池用硅片的制造工序主要包括：单晶或多晶锭→切方→抛光或者酸腐蚀→线切片→清洗等步骤。其中，抛光或者酸腐蚀的作用是减少方形硅锭表面的机械损伤层，从而可以减少切片时硅片边缘崩边，提高成品率。如果采用酸腐蚀的方式，则会产生大量含氟的废酸，不仅会对环境造成污染，而且还非常难以处理。因此目前主要采用抛光的方法去除方形硅锭表面的机械损伤层。

目前，主要采用的抛光工艺包括两种，一种是用金刚石刷进行抛光，但是这种工艺所需的设备和金刚石刷的价格非常昂贵。因此为了降低生产成本，提出了另一种抛光方法，如图1所示，为现有技术的抛光方法示意图，方形硅锭100可以沿水平方向运动，在方形硅锭100的上方有带动抛光板300旋转的传动杆200，并且传动杆200会产生一定的向下压力，通过旋转力和压力提高抛光能力，从而可以避免使用价格昂贵的金刚石刷。现有的抛光板300包括上部的支撑板310和下部的抛光布320，其中抛光布320可以由尼龙制造，因此现有技术可以大大地降低生产成本。

现有技术存在的缺点是，采用尼龙抛光布虽然可以大大地降低成本，但是抛光效果并不好，不能满足抛光的要求，因此还需要改进。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一，特别是提出一种硅锭的抛光方法、系统及抛光板，不仅能够降低生产成本，另外还能提高抛光效果。

为达到上述目的，本发明一方面提出一种硅锭的抛光方法，包括以下步骤：提供硅锭；移动传动杆以使抛光板与所述硅锭的上表面接触，并通过所述传动杆施加预设的压力，其中，所述抛光板具有至少一个用于抛光液导入的导入孔和与所述导入孔相连的至少一个导流槽；将抛光液导入到所述抛光板的导入孔中，所述抛光液通过所述导入孔和导流槽流入所述抛光板的抛光布与硅锭的抛光界面；和水平移动所述硅锭并旋转所述传动杆以对所述硅锭的上表面进行抛光。

本发明另一方面还提出了一种硅锭的抛光系统，包括：承载装置，用于承载硅锭，并可水平移动；用于对所述硅锭进行抛光的抛光板，其中，所述抛光板具有至少一个用于抛光液导入的导入孔和与所述导入孔相连的至少一个导流槽；旋转伸缩装置，用于移动与所述抛光板相连接的传动杆以使所述抛光板与所述硅锭的上表面接触，并通过所述传动杆对所述抛光板施加预设的压力，以及在抛光所述硅锭时旋转所述传动杆以使所述抛光板旋转；和供液装置，用于将抛光液导入到所述抛光板的导入孔中，所述抛光液通过所述导入孔和所述导流槽流入所述抛光板的抛光布与硅锭的抛光界面。

本发明采用湿法抛光技术对硅锭进行抛光，可以增加抛光去除量，改善硅锭的表面损伤层，因此本发明不仅能够降低生产成本，还能提高抛光效果，通过本发明提出的方法和系统进行抛光的效果比用金刚石刷进行抛光的效果更好。

本发明再一方面还提出了一种抛光板，包括支撑板，所述支撑板上具有至少一个第一导入孔，传动杆与所述支撑板的中心点相连；和抛光布，所述抛光布与所述支撑板相连接，用于对硅锭进行抛光，其中，所述抛光布具有：第二导入孔，所述第二导入孔与所述支撑板的第一导入孔对应；以及至少一个第一导流槽，所述至少一个第一导流槽与所述第二导入孔相连通。通过本发明实施例提出的抛光板可以将抛光液导入到抛光布与硅锭的抛光界面，改善抛光效果，并且本发明实施例的抛光布可以采用尼龙材料，因此可以大大地降低生产成本。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为现有技术的硅锭抛光方法示意图；

图2为本发明实施例的硅锭湿法抛光方法流程图；

图3为本发明实施例的硅锭湿法抛光系统结构图；

图4-7分别为本发明实施例抛光板的立体图、俯视图、仰视图和侧视图。

具体实施方式