[发明专利]光刻设备和器件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种设置有第一物体和第二物体的定位设备，以及一种包括这种定位设备的光刻设备。

背景技术

定位设备在光刻设备中是已知的，其包括第一物体和第二物体，其中第一物体是长行程模块的一部分，第二物体是短行程模块的一部分。长行程和短行程概念的结合或组合的协作概念对于光刻设备来说是熟知的机器布置。因此，长行程模块负责在长行程上以有限的精确度实施移动，而短行程模块的目标是能够以较高的位置精确度在较短行程上移动。短行程模块通过用于传输例如电、流体、真空应用等其他的柔性传输线与长行程模块连接。具体示例有，通过柔性传输线实现短行程提供水。

在已知的定位设备中，柔性传输线的刚度、阻尼以及质量性能作为第一物体和第二物体之间的静态和动态扰动力而起作用。如果柔性传输线的质量与柔性传输线的低的刚度、低的固有频率结合会导致由于柔性传输线的自由移动质量带来的不想要的扰动力。通过增大柔性传输线的刚度来提高柔性传输线的固有频率会增强物体之间的直接耦合。动态扰动效应会导致第一物体和第二物体的位置误差。由此并作为结果，这些位置误差会导致光刻设备的不想要的成像问题和/或重叠误差。

发明内容

本发明的一方面在于减小柔性传输线的动态扰动。因此，本发明的一个实施例是基于这样的想法，期望在一方面具有相对低的相互刚度的柔性传输线和另一方面具有高的固有刚度的柔性传输线之间获得完善的平衡，以抑制柔性传输线的相对低频率的动态行为。因此，在本发明的一个实施例中，柔性传输线具有作为在柔性传输线上的位置的函数的刚度，这获得适于定位系统的闭环传递函数的柔性传输线的动态传递函数。

根据本发明实施例的柔性传输线的效果在于，基于定位系统的闭环传递函数的知识，可以在一方面相互刚度要求和另一方面柔性传输线的动态行为之间获得平衡。

在优选的实施例中，所述柔性传输线具有作为在柔性传输线上的位置的函数、使得柔性传输线(FTL)具有第一铰链(HNGA)的刚度。这样的实施例具有有益的效果，即在第一和第二物体之间形成相对低的相互刚度。

在另一实施例中，柔性传输线还可以包括基本上直的且尺寸稳定的第一部分和基本上直的且尺寸稳定的第二部分，其中第一部分和所述第二部分经由第一铰链连接，使得第一和第二部分可以相对于彼此围绕所述铰链枢转。该实施例具有有益的效果在于，柔性传输线的高的固有刚度抑制了柔性传输线的相对低频率的动态行为。

附图说明

现在参照随附的示意性附图，仅以举例的方式，描述本发明的实施例，其中，在附图中相应的附图标记表示相应的部件，且其中：

图1描述了根据本发明一个实施例的光刻设备；

图2示出了设置有第一物体和第二物体的定位设备的俯视图，定位设备还设置有柔性传输线；

图3示意地示出了根据本发明一个实施例的定位设备，其包括长行程模块和短行程模块；

图4示出了标准控制图，其中控制器设定点被注入到组合的前馈和反馈控制系统；

图5示出由PID控制器并以具体控制器带宽控制的自由移动质量的工艺敏感性传递函数的示例；

图6示意地示出在图3中示出的实施例的放大的示意图；

图7示出图6中的另一示意图；

图8示出根据本发明实施例的柔性传输线的示例；

图9示意地示出根据本发明一个实施例的耦合到两个物体的柔性传输线；

图10示意地示出根据本发明另一实施例的耦合到两个物体的柔性传输线；

图11示意地示出根据本发明另一实施例的耦合到两个物体的柔性传输线；

图12示意地示出根据本发明一实施例的耦合到两个物体的柔性传输线，其中第一铰链具有中间位置，从而枢转角等于基本上90度；

图13示意地示出根据本发明另一实施例的耦合到两个物体的柔性传输线；和

图14示意地示出根据本发明一实施例的耦合到两个物体的柔性传输线。

具体实施方式