[发明专利]光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种定位设备，包括：

第一物体和第二物体；

定位系统，其配置用以相对于彼此定位所述第一物体和所述第二物体；和

柔性传输线，其连接到所述第一物体和所述第二物体，所述柔性传输线具有沿柔性传输线变化的刚度，使得所述柔性传输线能够由动态传递函数表示，所述动态传递函数适合于所述定位系统的闭环传递函数。

2.如权利要求1所述的设备，其中，所述柔性传输线具有第一铰链。

3.如权利要求2所述的设备，其中，所述柔性传输线包括基本上直的且尺寸稳定的第一部分和基本上直的且尺寸稳定的第二部分，其中所述第一部分和所述第二部分经由第一铰链连接，使得所述第一和第二部分能够相对于彼此围绕所述铰链枢转。

4.如权利要求3所述的设备，其中，所述第一铰链具有在所述第一和第二部分之间的枢转角，其中所述枢转角具有0到360度的范围。

5.如权利要求4所述的设备，其中，所述第一铰链具有中间位置并且所述枢转角基本上等于90度。

6.如权利要求3所述的设备，其中，所述柔性传输线具有分别位于所述第一物体和所述第二物体附近的第二铰链和第三铰链。

7.如权利要求2所述的设备，其中，连接到所述第一物体的所述柔性传输线的所述第一部分设置有位于所述第一铰链附近的基本上弯曲且尺寸稳定的部分。

8.如权利要求1所述的设备，其中，所述柔性传输线是构造并布置用以在所述定位设备的所述第一物体和所述第二物体之间传输介质的软管和/或是配置用以在所述定位设备的所述第一物体和所述第二物体之间传输电信息或光信息的导线。

9.一种光刻设备，包括：

图案形成装置支撑结构，其构造用以支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够将图案在辐射束的横截面上赋予所述辐射束以形成图案化的辐射束；

衬底台，其构造成保持衬底；

投影系统，其配置成将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上；和

定位设备，所述定位设备包括

第一物体和第二物体；

定位系统，其配置成相对于彼此定位所述第一物体和所述第二物体；和

柔性传输线，其连接到所述第一和第二物体，所述柔性传输线具有沿柔性传输线变化的刚度，使得所述柔性传输线能够由动态传递函数表示，所述动态传递函数适合于所述定位系统的闭环传递函数，

其中所述第一物体是长行程模块的可移动部分，而所述第二物体是短行程模块的可移动部分。

10.如权利要求9所述的光刻设备，其中，连接到所述长行程模块的所述可移动部分的所述柔性传输线的第一部分的方向基本上平行于所述可移动部分的第一移动方向。

11.如权利要求10所述的光刻设备，其中，所述第一移动方向是扫描方向。