[发明专利]镀膜工艺室上的盖板

说明书

技术领域

本发明涉及到生产镀膜玻璃用的镀膜工艺室上的盖板。

背景技术

镀膜工艺室是真空镀膜玻璃生产线中的主工艺室。根据工艺要求，通常将镀膜工艺室分隔成若干个腔室，每个腔室上都设置有盖板，根据盖板上所安装的不同功能部件来区分各盖板，大致可分为真空泵盖板和阴极盖板，阴极盖板又包括：单平面靶盖板、双平面靶盖板、旋转靶盖板、双旋转靶盖板等。目前所使用的镀膜工艺室上的盖板的缺点是：各盖板的结构只能与其上安装的功能部件相配合，即：真空泵盖板上只有真空泵安装孔，只能安装真空泵；阴极盖板上只有靶材安装孔，只能安装相应的阴极靶材；相互之间不能互换安装，各盖板之间缺乏互换性，带来的问题是：如果要对镀膜工艺室进行升级的话，原有盖板无法与新的镀膜工艺室进行配合，就需要重新对盖板进行设计，既增加了生产成本，又造成资源的浪费。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种可根据生产需要来互换安装真空泵及多种靶材的镀膜工艺室上的盖板。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：镀膜工艺室上的盖板，包括板体，所述板体的中部设置有若干个与真空泵相配合的真空泵安装孔，板体的两端分别设置有一个与靶材相配合的靶材安装孔。

所述板体的中部设置有三个与真空泵相配合的真空泵安装孔，

本发明的有益效果是：在板体上设置真空泵安装孔和靶材安装孔后，当需要将其作为真空泵盖板或阴极靶材盖板时，只需将真空泵或阴极靶材安装对应安装孔内。即将其作为真空泵盖板时，只要将真空泵通过真空泵安装板与真空泵安装孔配合安装，靶材安装孔用封板封住；当将其作为阴极盖板时，只需将阴极靶材通过靶材安装板与靶材安装孔配合安装，真空泵安装孔用封板封住即可。这就使得盖板上即可安装真空泵，又可以安装阴极靶材，增加了盖板的互换性。

附图说明

图1是本发明镀膜工艺室上的盖板的俯视结构图；

图2是镀膜工艺室上的盖板上安装真空泵的俯视图；

图3是镀膜工艺室上的盖板上安装单平面靶材的俯视图；

图4是镀膜工艺室上的盖板上安装双平面靶材的俯视图；

图5是镀膜工艺室上的盖板上安装旋转靶材的俯视图；

图6是镀膜工艺室上的盖板上安装双旋转靶材的俯视图。

图1至图6中：1、板体，2、真空泵安装孔，3、靶材安装孔，4、真空泵封板，5、真空泵，6、单平面靶材安装板，7、靶材封板，8、双平面靶安装板，9、旋转靶安装板，10、双旋转靶安装板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方案，对本发明镀膜工艺室上的盖板作进一步的详细描述。

如图1所示，本发明所述的镀膜工艺室上的盖板，包括板体1，板体1的中部设置有若干个与真空泵相配合的真空泵安装孔2，真空泵安装孔2的数量可根据生产需要设定，板体1的两端分别设置有一个与靶材相配合的靶材安装孔3。

本发明的工作原理为：下面以设置三个真空泵安装孔的镀膜工艺室的盖板为例，详细介绍其工作原理。如图2所示，当将其作为真空泵盖板时，只需要将真空泵5与真空泵安装孔2配合安装，且靶材安装孔3用靶材封板7封住，若安装两个真空泵，多出的一个真空泵安装孔用真空泵封板4封住，以此类推。如图3所示，当将其作为单平面靶盖板时，只需将单平面靶通过单平面靶安装板6与靶材安装孔3配合安装，真空泵安装孔2用真空泵封板4封住。如图4所示，当将其作为双平面靶盖板时，只需将双平面靶通过双平面靶安装板8与靶材安装孔3配合安装，真空泵安装孔2用真空泵封板4封住。如图5所示，当将其作为旋转靶盖板时，只需将旋转靶通过旋转靶安装板9与靶材安装孔3配合安装，真空泵安装孔2用真空泵封板4封住。如图6所示，当将其作为双旋转靶盖板时，只需将双旋转靶通过双旋转靶安装板10与靶材安装孔3配合安装，真空泵安装孔2用真空泵封板4封住。如果生产工艺中要求将真空泵5和阴极靶材同时安装在同一个盖板上，本盖板也可满足上述要求，只需将真空泵和阴极盖板分别与真空泵安装孔2和靶材安装孔3配合安装即可，其他剩下的真空泵安装孔用真空泵封板封住。这样既可以将盖板的生产规范化，使得盖板可互换使用，减少生产成本，而且可满足镀膜工艺室的升级需要，不会造成盖板的浪费。