[发明专利]可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极

权利要求书

1.一种可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极，包括功率电极板和功率馈入连接端口，其特征在于所述功率电极板的板面为单面或双面的内凹弧形曲面，弧形曲面轴向与功率馈入连接端口平行；所述功率馈入连接端口为偶数个点，对称设置在功率电极板的端面上。

2.根据权利要求1所述的可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极，其特征在于所述功率馈入连接端口为两点、四点、八点或八点以上。

3.根据权利要求1或2所述的可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极，其特征在于所述功率电极板是实心电极板或是具有小孔的Showerhead形式的电极板。

4.根据权利要求1或2所述的可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极，其特征在于所述功率电极板的正投影是正方形或长方形。

5.根据权利要求2所述的可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室瓦片式功率电极，其特征在于所述功率馈入连接端口的每个端口的相位相等、振幅相等。