[发明专利]用于时计机芯的夹板或机板

说明书

技术领域

本发明涉及由可微加工的材料制成的夹板(bridge)或机板，该夹板或机板包括用于制造时计机芯的单件轴承。

背景技术

人们知道制造金属(例如黄铜)夹板以支撑时计机芯轮系的至少一个枢轴的旋转，而机板承载所述轮系的另一个枢轴。这些枢轴通常承载在加入到夹板或机板的轴承中。所通常使用的轴承包括至少一个红宝石，也称为宝石，该宝石由于其非常优良的摩擦学性能而被使用。

在某些时计机芯中，壳体的薄度要求使得制造厚度非常小的夹板和/或机板。夹板的顶板和/或机板(即最薄的零件)从而变得非常难于加工和作业。实际上，当应用宝石的加工工具或驱动工具时，可能发生轴向摆动并导致所述元件平面度和定位精度的损失。

发明内容

本发明的一个目的是通过提出包括用于时计机芯的单件轴承的夹板或机板来克服前述的全部或部分缺陷，该时计机芯尽管其厚度很小，但是其平面度和精度得到了提高。

本发明因而涉及一种包括至少一个夹板的时计机芯，该夹板使用至少一个紧固装置安装在机板上，其特征在于，所述至少一个夹板或机板由可微加工材料的板制成，并且所述至少一个夹板或机板包括与所述至少一个夹板一体的至少一个轴承，以便承载所述机芯的至少一个构件。这有利地提供了极高精度的单件构件并且避免了由组装步骤引起的缺陷。

根据本发明其他有利的特征：

-所述至少一个轴承具有通过刻蚀制成的宝石轴承孔，这免去了对于专用宝石加工(jewelling)的需求；

-所述宝石轴承孔的壁具有涂层，与所述可微加工材料相比该涂层提高了所述壁的摩擦学性能。

-所述宝石轴承孔具有至少一个橄榄型切口(olive-cut)或至少一个油槽以便减小摩擦；

-可微加工材料是硅基的。

本发明还涉及一种时计，其特征在于，该时计包括根据前述变形中的一个的时计机芯。

最后，本发明涉及一种在可微加工元件内制造轴承的方法，其特征在于，该方法包括步骤a)：进行刻蚀以便形成所述轴承的宝石轴承孔。

根据本发明其他有利的特征：

-该刻蚀是通过各向异性深反应离子刻蚀进行的；

-在步骤a)之后，该方法还包括步骤b)：进行第二刻蚀以便形成与所述孔共轴的橄榄型切口；

-在步骤a)之后，该方法还包括步骤b’)：进行第二刻蚀以便形成与所述孔共轴的油槽；

-该第二刻蚀是通过各向同性深反应离子刻蚀进行的；

-该第二刻蚀是通过一系列各向异性深反应离子刻蚀进行的，该刻蚀的刻蚀部分逐渐减小；

-该第二刻蚀是通过电腐蚀进行的；

-该方法还包括最后的步骤c)：在所述宝石轴承孔的壁上形成涂层，该涂层的摩擦系数优于所述可微加工材料；

-步骤c)包括阶段d)：进行材料的物理或化学相沉积，该材料的摩擦学质量优于所述可微加工材料；

-可微加工元件是硅基的；

-步骤c)包括阶段e)：氧化所述硅基材料以便形成具有更优摩擦学质量的所述涂层。

附图说明

参考附图，从作为非限制性说明的下面描述将清楚地得到其他特征和优点，附图中：

图1是根据本发明的夹板的顶部立体图；

图2是根据本发明的夹板的底部立体图；

图3是根据本发明的夹板的顶视图；

图4是沿图3的截面A-A的图；

图5是本发明的方法的流程图。

具体实施方式

如图1至4所示，被选来用于解释本发明的元件是时计机芯夹板，其总体用附图标记1表示，并且旨在用于时计中。然而，应当清楚的是，本发明也可应用于时计机芯的机板或包括了上述夹板的所述机芯的板。

夹板1具有三个基座3、5、7，所述夹板的板9在三个基座3、5、7之上延伸。优选地，三个基座3、5、7和板9是单件零件。在图3所示的例子中，能看出板9具有大致为新月的形状。

有利地，夹板1由可微加工材料的板制成，该可微加工材料的板提供了提高的精度和平面度。这种可微加工材料可以是硅、结晶硅或结晶氧化铝基的。事实上，对表面已经是平的板(例如硅片)的微加工保证了得到非常好的尺寸。

此外，经由使用干法或湿法刻蚀的工艺获得可微加工材料的工作精度，这避免了使用局部力来去除材料。这些工艺被广泛应用，尤其用在微电子中的计算器和处理器的刻蚀，并且这些工艺保证了小于一微米的刻蚀精度。优选地，使用深反应离子(DRIE)式刻蚀。