[发明专利]用于时计机芯的夹板或机板

权利要求书

1.一种在硅基元件(1)中制造轴承(8，10)的方法(31)，其特征在于，所述方法包括下列步骤：

a)进行(33)第一刻蚀以便为所述轴承形成宝石轴承孔(17)；

b)进行(35)第二刻蚀以便形成与所述孔共轴的橄榄型切口或油槽(21)。

2.根据权利要求1所述的方法(31)，其特征在于，所述第一刻蚀是通过各向异性深反应离子刻蚀进行的。

3.根据权利要求1所述的方法(31)，其特征在于，所述第二刻蚀是通过各向同性深反应离子刻蚀(36)进行的。

4.根据权利要求1所述的方法(31)，其特征在于，所述第二刻蚀是通过一系列(38)各向异性深反应离子刻蚀进行的，所述刻蚀的刻蚀部分逐渐减小。

5.根据权利要求4所述的方法(31)，其特征在于，所述步骤b)随后有下述步骤：

c)氧化所述硅基元件以便使所述第二刻蚀变平。

6.根据权利要求1所述的方法(31)，其特征在于，所述第二刻蚀是通过电腐蚀(40)进行的。

7.根据权利要求6所述的方法(31)，其特征在于，所述元件是掺杂硅基的以提高电腐蚀(40)质量。

8.一种包括至少一个夹板(1)的时计机芯，所述夹板(1)使用至少一个紧固装置(2，4，6)安装在机板上，所述至少一个夹板或所述机板由硅基材料制成的板制造并且包括通过宝石轴承孔(17)形成为单件的至少一个轴承(8，10)，以在没有任何专用宝石加工的情况下承载所述机芯的至少一个构件，其特征在于，所述孔(17)具有大致圆锥形部分以便减小摩擦。

9.根据权利要求8所述的时计机芯，其特征在于，所述大致圆锥形部分形成橄榄型切口。

10.根据权利要求8所述的时计机芯，其特征在于，所述大致圆锥形部分形成油槽(21)，所述油槽(21)也有助于润滑。

11.一种时计，其特征在于，所述时计包括根据权利要求8至10中任一项所述的时计机芯。