[发明专利]传感器装置

权利要求书

1.传感器装置（1），所述传感器装置带有一具有主延伸平面（100） 的基底（2）和一能相对于所述基底（2）运动地悬挂的振动质量块（3）， 其中，所述传感器装置（1）具有第一检测元件（10），所述第一检测元件 （10）用于检测所述振动质量块（3）沿着与所述主延伸平面（100）平行 的第一方向（11）的第一运动（12），并且，所述传感器装置（1）具有第 二检测元件（20），所述第二检测元件（20）用于检测所述振动质量块（3） 沿着与所述主延伸平面（100）平行的且与所述第一方向（11）垂直的第二 方向（21）的第二运动（22），其特征在于，所述第一检测元件（10）和所 述第二检测元件（20）分别能相对于所述振动质量块（3）运动地固定在所 述振动质量块（3）上，使得所述第一和第二检测元件的运动相互解耦。

2.如权利要求1所述的传感器装置（1），其特征在于，所述第一检测 元件（10）借助一第一弹簧元件（13）悬挂在所述振动质量块（3）上和/ 或所述第二检测元件（20）借助一第二弹簧元件（23）悬挂在所述振动质 量块（3）上。

3.如权利要求2所述的传感器装置（1），其特征在于，所述第一弹簧 元件（13）构造成相对于沿着所述第一方向（11）的变形比相对于沿着第 二方向（21）的变形更刚性，和/或，所述第二弹簧元件（23）构造成相对 于沿着所述第二方向（21）的变形比相对于沿着所述第一方向（11）的变 形更刚性。

4.如权利要求1或2所述的传感器装置（1），其特征在于，所述振动 质量块（3）借助第五弹簧元件（4）悬挂在所述基底（2）和/或一锚固元 件（5）上，其中，所述锚固元件（5）固定地与所述基底（2）连接。

5.如权利要求4所述的传感器装置（1），其特征在于，所述第五弹簧 元件（4）沿着所述第一方向（11）的刚度构造成等于所述第五弹簧元件（4） 沿着所述第二方向（21）的刚度。

6.如权利要求4所述的传感器装置（1），其特征在于，所述第一检测 元件（10）借助一第三弹簧元件（15）并且所述第二检测元件（20）借助 一第四弹簧元件（25）分别悬挂在所述基底（2）和/或所述锚固元件（5） 上。

7.如权利要求6所述的传感器装置（1），其特征在于，所述第三弹簧 元件（15）构造成相对于沿着所述第二方向（21）的变形比相对于沿着所 述第一方向（11）的变形更刚性，和/或，所述第四弹簧元件（25）构造成 相对于沿着所述第一方向（11）的变形比相对于沿着所述第二方向（21） 的变形更刚性。

8.如权利要求4所述的传感器装置（1），其特征在于，所述第一检测 元件（11）和/或第二检测元件（21）具有梳形电极（7）。

9.如权利要求4所述的传感器装置（1），其特征在于，所述振动质量 块（3）具有一框架（3’）。

10.如权利要求4所述的传感器装置（1），其特征在于，所述锚固元 件（5）构造成十字架（5’），其中，所述锚固元件（5）在所述十字架（5’） 的中心区域中与所述基底（2）连接，并且，所述锚固元件（5）在所述十 字架（5’）的端点中与所述振动质量块（3）连接。

11.如权利要求1所述的传感器装置（1），其特征在于，所述传感器 装置是加速度传感器装置。

12.如权利要求8所述的传感器装置（1），其特征在于，这些梳形电 极设置成与固定在所述基底（2）和/或所述锚固元件（5）上的梳形反电极 （6）共同作用。

13.如权利要求9所述的传感器装置（1），其特征在于，所述第一检 测元件（10）、所述第二检测元件（20）和/或所述锚固元件（5）平行于所 述主延伸平面（100）地设置在所述框架（3’）内部。