[发明专利]行走车系统

说明书

技术领域

本发明涉及包括用于搬送物品的多个行走车的行走车系统。

背景技术

在以往的技术中存在这样的行走车系统，该行走车系统是利用桥式吊车等的行走车搬送物品的系统。

例如，在制造半导体元件的半导体工厂内，按照制造工序，被划分为称为制程区(Bay)的区域。在各个制程区配置有环行路径，多个桥式吊车在该环行路径上单向环行。

在各个环行路径上，多个行走车的每一个在该制程区的制造装置间搬送作为半导体元件的材料的晶圆等。

并且，各个制程区的环行路径之间由连接路径连接。在某个制程区经过了一个工序后的制造物，由该制程区内的桥式吊车拾取，且经由连接路径搬送到下一个工序的制程区。

对于包括这样的多个环行路径、连接多个环行路径的连接路径、以及多个桥式吊车的行走车系统，需要高效率地搬送物品。

于是，还公开了用于高效率地进行这样的行走车系统中的行走车的移动的技术。

例如，在专利文献1所记载的技术中，控制多个桥式吊车的控制器掌握行驶路径的堵塞状态，通知给各个桥式吊车。据此，各个桥式吊车能够按照堵塞状态决定行驶路径。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：(日本)特开2006-195859号公报

然而，如上述的以往的技术那样，在包括多个行走车的行走车系统中，在各个行走车决定行驶路径的情况下，路径的选择项与制程区的数量的增加成比例地增加。因此，导致各个行走车决定路径所需要的处理负荷增大。

并且，如上所述，多个制程区的每一个之间由连接路径连接，行走车在各个制程区之间移动。因此，例如，会有发生在每个制程区的行走车的数量与各个制程区中所需要的作业量之间不能获得平衡的状况的情况。

因此，需要对属于各个制程区的行走车的数量进行调整(以下，称为“车辆调度”。)。

并且，在以往的技术中，在各个制程区的环行路径中分别设置有：行走车向连接路径退出的多个退出点；以及行走车从连接路径进入该环行路径的多个进入点。

也就是说，在进行车辆调度时，在连接一个环行路径的退出点和其他的环行路径的进入点的路径上，行走车移动。

因此，为了实现高效的车辆调度，而需要考虑在行走车系统内的多个制程区之间(环行路径之间)的每一个的退出点和进入点的组合。

因此，若制程区的数量增加，则这些制程区的退出点以及进入点的组合的数量增大，因此车辆调度时用于决定路径的选择项的数量增大。

并且，例如，在连接路径的一部分中发生了障碍的情况下，在其他的行走车在连接路径上因故障而停止了的情况下，或者，在行驶路径的一部分因维护而禁止了通行的情况下等，即使行走车根据已设定的组合而移动，也会有该行走车不能到达车辆调度目的地的制程区的情况。

发明内容

考虑上述的以往的问题，本发明的目的在于提供一种行走车系统，包括多个环行路径、以及连接这些环行路径的连接路径，且用于使行走车在多个环行路径相互之间高效率地移动。

为了解决上述的问题，本发明的行走车系统包括多个环行路径、连接所述多个环行路径的连接路径、以及在所述多个环行路径以及所述连接路径行驶的行走车，所述多个环行路径以及所述连接路径的每一个是单向通行，所述多个环行路径的每一个具有所述行走车能够向所述连接路径退出的多个退出点、以及所述行走车能够从所述连接路径进入的多个进入点，所述行走车系统包括存储部，该存储部存储有表示退出点和进入点的组合的退/入信息，该退出点和进入点是，所述多个环行路径相互之间的所述行走车能够移动的路径且为最短的路径的始端以及终端，所述行走车，在从所述多个环行路径之中的一个环行路径向其他的环行路径移动的情况下，经由所述存储部所存储的退/入信息所表示的所述一个环行路径的退出点以及所述其他的环行路径的进入点而移动。

根据该结构，存储部存储有表示构成多个环行路径相互之间的最短路径的退出点和进入点的组合的退/入信息。

因此，在行走车从多个环行路径之中的一个环行路径向其他的环行路径移动的情况下，通过参照该退/入信息，从而能够容易确定用于使该行走车最高效率地移动的退出点和进入点的组合。

也就是说，不需要进行从多个候补中检索一个路径这样的处理，而能够容易实现行走车的高效率的移动。