[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 200980145099.1 | 申请日： | 2009-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN102209851A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 大石耕太 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
1.一种涡轮分子泵，交替地包括多层第1叶轮层及第2叶轮层，该第1叶轮层由从旋转体呈放射状形成的多个动叶轮叶片构成，该第2叶轮层由相对于上述旋转体的旋转轴呈放射状配置的多个静叶轮叶片构成，其中，
对于上述动叶轮叶片及上述静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将上述第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，上述第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，
对于在旋转轴方向上相邻的上述叶轮层，至少具有一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。
2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其中，
满足上述第1关系式及上述第2关系式的叶轮层还满足第3关系式“Xi(S)＜Xo(S)＜Xi(S)×1.5”。
3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其中，
在满足上述第1关系式及上述第2关系式的叶轮层中，相邻的叶轮层还满足第4关系式“Xo(S)＜Xo(R)＜Xo(S)×1.5”及第5关系式“Xi(S)＞Xi(R)＞Xi(S)×0.5”。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的涡轮分子泵，其中，
满足上述关系式的叶轮层适用于承担中间流区域的多个叶轮层中的至少一层。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的涡轮分子泵，其中，
满足上述关系式的叶轮层适用于在上述多个叶轮层之中配置于排气侧的半数的叶轮层中的至少一层。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的涡轮分子泵，其中，
满足上述关系式的叶轮层适用于除设置于在轴向上最靠向进气侧位置的叶轮层之外的所有叶轮层。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的涡轮分子泵，其中，
利用压铸法形成多个上述第2叶轮层之中的至少满足上述关系式的叶轮层。
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