[发明专利]液滴涂敷方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种液滴涂敷方法及装置。

背景技术

以往，作为使用喷墨涂敷方法来制作滤色器用基板的技术，存在如专利文献1所记载的那样的技术，即将从涂敷头的喷嘴喷出的多个液滴(墨水)，涂敷到在基板表面上区划形成的凹部中。被涂敷到凹部的液滴干燥而在凹部内形成着色层。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-230129号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

为了确保通过如专利文献1所记载的技术所制作的滤色器用基板的品质，需要向基板的各凹部正确地滴下需要量的液滴，希望有对从涂敷头的各喷嘴喷出的液滴的量高精度地进行调整的技术。

在现有技术中，如图6A所示，求出从涂敷头的各喷嘴1以一定的滴下定时(滴下时间间隔)依次喷出而向检查用基板KA的规定的涂敷范围A(相当于制品用基板K的凹部的范围)滴下的多个液滴E(例如E1～E5的5滴)的涂敷面积(投影面积)，基于该涂敷面积来求出并检查液滴E1～E5的涂敷量。

但是，在现有技术中，在从涂敷头的各喷嘴1向检查用基板KA的一定的涂敷范围A喷出多个液滴E1～E5时，使检查用基板KA相对于喷嘴1以一定的移动速度v相对移动。

因此，依次滴下到检查用基板KA上的各液滴E1～E5向检查用基板KA的移动方向每次少许错位地堆积(图6B)，这些液滴E1～E5的整体成为卵形图像。

此时，即使上述的滴下定时p是一定的，相邻的液滴E1～E5的涂敷间距p也会由于检查用基板KA的移动速度的不均、或者因液滴的粘度、浓度等引起的液滴向检查用基板KA的移动方向的拖曳而变得不均。

因此，在检查用基板KA上堆积的液滴E1～E5的卵形图像，由于检查用基板KA的移动速度的不均、或者因液滴的粘度、浓度等引起的液滴向检查用基板KA的移动方向的拖曳，而长度发生变化，会损害液滴E1～E5整体的涂敷面积、进而涂敷量的检查精度。

此外，在从涂敷头的喷嘴1喷出的液滴E(例如E5)的喷出状态，如图7所示那样处于该液滴E5的喷出方向相对于铅垂线倾斜的倾斜喷出的异常状态时，液滴E1～E5整体的卵形图像的长度与正常喷出状态下的正常的卵形图像相比被扩大。然而，该正常时与异常时的图像的差异，是卵形图像的长度的简单扩大的程度的差，是难以清楚地判断的差异，很难进行喷出状态的正常与异常的判断。

本发明的技术问题在于，高精度地检测从涂敷头的喷嘴向基板的规定涂敷范围涂敷的多个液滴整体的涂敷面积，高精度地调整来自喷嘴的液滴的喷出量。

解决技术问题的技术手段

为了解决上述技术问题，本发明提供一种液滴涂敷方法，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，

该液滴涂敷方法具有：

对从设置于涂敷头的喷嘴喷出并涂敷到上述涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像的工序；

基于所摄像的上述多个液滴的图像来求出这些液滴整体的涂敷面积的工序；以及

基于所求出的涂敷面积来调整来自上述喷嘴的液滴的喷出量的工序，

在从上述涂敷头的喷嘴向基板上的规定涂敷范围喷出上述多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下。

此外，本发明提供一种液滴涂敷装置，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，

该液滴涂敷装置具有：

移动构件，使具备喷嘴的涂敷头和基板在沿着上述基板表面的方向上相对移动；

摄像部，对从上述喷嘴喷出并涂敷到基板上的规定涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像；

检查部，基于摄像部所摄像的上述多个液滴的图像，求出这些液滴整体的涂敷面积；以及

控制部，控制上述涂敷头、移动构件、摄像部以及检查部，

上述控制部控制上述涂敷头和上述移动构件的驱动，以便在从涂敷头的喷嘴向上述规定涂敷范围喷出多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下。

发明效果

根据本发明，能够高精度地检测从涂敷头的喷嘴向基板的规定涂敷范围涂敷的多个液滴整体的着落面积，能够高精度地调整来自喷嘴的液滴的喷出量，进而能够提高涂敷精度。

附图说明

图1是表示液滴涂覆装置的示意图。

图2是表示基板的示意图。

图3是表示检查部的检查状态的示意图。

图4A是表示从涂敷头的喷嘴喷出到同一位置的液滴的滴下状态的示意图。