[发明专利]液滴涂敷方法及装置

权利要求书

1.一种液滴涂敷方法，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，

该液滴涂敷方法具有：

对从设置于涂敷头的喷嘴喷出并涂敷到上述涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像的工序；

基于所摄像的上述多个液滴的图像来求出这些液滴整体的涂敷面积的工序；以及

基于所求出的涂敷面积来调整来自上述喷嘴的液滴的喷出量的工序，

在从上述涂敷头的喷嘴向基板上的规定涂敷范围喷出上述多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下。

2.如权利要求1所述的液滴涂敷方法，其特征在于，

上述基板是用于检查液滴的涂敷状态的检查用基板，

在利用该检查用基板检查了液滴的涂敷状态之后基于该检查来涂敷溶液的制品用基板上，设有为了涂敷从涂敷头的喷嘴喷出的多个液滴而区划形成的凹部，

向上述检查用基板的规定涂敷范围滴下的液滴数量为向制品用基板的1个凹部涂敷的液滴数量。

3.如权利要求1或2所述的液滴涂敷方法，其特征在于，

在向上述基板的规定涂敷范围涂敷的多个液滴的图像不是圆形时，判断为在上述多个液滴中，在从涂敷头的喷嘴喷出的液滴中含有喷出方向相对于铅垂线倾斜地喷出的液滴。

4.如权利要求3所述的液滴涂敷方法，其特征在于，

上述涂敷头具备多个喷嘴，在上述调整工序中，调整来自各喷嘴的液滴的喷出量，以使从各喷嘴喷出的多个液滴的涂敷量相互相同。

5.一种液滴涂敷装置，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，

该液滴涂敷装置具有：

移动构件，使具备喷嘴的涂敷头和基板在沿着上述基板表面的方向上相对移动；

摄像部，对从上述喷嘴喷出并涂敷到基板上的规定涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像；

检查部，基于摄像部所摄像的上述多个液滴的图像，求出这些液滴整体的涂敷面积；以及

控制部，控制上述涂敷头、移动构件、摄像部以及检查部，

上述控制部控制上述涂敷头和上述移动构件的驱动，以便在从涂敷头的喷嘴向上述规定涂敷范围喷出多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下。

6.如权利要求5所述的液滴涂敷装置，其特征在于，

上述基板是检查用基板，

与该检查用基板不同的制品用基板具有为了涂敷从涂敷头的喷嘴喷出的多个液滴而区划形成的凹部，

向检查用基板的规定涂敷范围滴下的液滴数量为向制品用基板的1个凹部涂敷的液滴数量。

7.如权利要求5或6所述的液滴涂敷装置，其特征在于，

在上述摄像部所摄像的上述多个液滴的图像不是圆形时，上述控制部判断为在上述多个液滴中含有喷出方向相对于铅垂线倾斜地喷出的液滴。

8.如权利要求5所述的液滴涂敷装置，其特征在于，

上述控制部基于上述检查部所求出的涂敷面积，调整来自上述喷嘴的液滴的喷出量。

9.如权利要求8所述的液滴涂敷装置，其特征在于，

上述涂敷头具备多个喷嘴，上述控制部调整来自各喷嘴的液滴的喷出量，以使从各喷嘴喷出的多个液滴的涂敷量相互相同。