[发明专利]驱动微反射镜的方法和装置

权利要求书

1.一种驱动微反射镜(24)的方法，包括下面的步骤：

a)提供微反射镜阵列(22)，其布置于微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中且包括所述微反射镜(24)，所述微反射镜(24)可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(α_x、α_y)倾斜，且所述微反射镜(24)被分配三个驱动器(E₁、E₂、E₃)，所述三个驱动器(E₁、E₂、E₃)可通过控制信号(U₁、U₂、U₃)被分别驱动，从而使得所述微反射镜(24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜；

b)规定两个控制变量(SG_x、SG_y)，其每个被分配给一个倾斜轴(x、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(α_x、α_y)；

c)对于所述两个控制变量(SG_x、SG_y)的任何希望的组合，根据所述两个控制变量(SG_x、SG_y)，选择所述三个驱动器中的一个驱动器(E₁)并将其控制信号(U₁)设为常数值，具体地0；

d)确定所述控制信号(U₁、U₂、U₃)，使得当所述控制信号(U₁、U₂、U₃)被施加到其它两个驱动器(E₂、E₃)时，所述微反射镜(24)根据所述两个控制变量(SG_x、SG_y)采用所述未被干扰倾斜角度；

e)将所述控制信号(U₁、U₂、U₃)施加到所述驱动器(E₁、E₂、E₃)。

2.根据权利要求1的所述方法，其特征在于所述控制变量(SG_x、SG_y)被线性分配给所述未被干扰的倾斜角度(α_x、α_y)。

3.根据权利要求1或2的所述方法，其特征在于通过将具有方向(θ)的二维控制变量向量(SGV)分配给所述两个控制变量(SG_x、SG_y)，所述两个控制变量(SG_x、SG_y)被分配给关于所述两个倾斜轴(x、y)的所述未被干扰的倾斜角度(α_x、α_y)，将有效倾斜向量(w₁，w₂，w₃)分配给每个单独的驱动器(E₁、E₂、E₃)，随后选择所述驱动器(E₁)，所述驱动器(E₁)的有效倾斜向量(w₁)的方向(θ)与所述控制变量向量(SGV)的方向(θ)不直接相邻，从而在步骤c)中选择其控制信号(U₁)被设为常数，具体地被设为0的驱动器(E₁)，。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于所述驱动器(E₁、E₂、E₃)的所述有效倾斜向量(w₁，w₂，w₃)从所述控制变量(SG_x、SG_y)获得，所述控制变量(SG_x、SG_y)被分配给当仅此驱动器(E₁、E₂、E₃)被驱动时所述微反射镜(24)采用的所述未被干扰的倾斜角度(α_x、α_y)。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于所述有效倾斜向量(w₁，w₂，w₃)通过测量确定。