[发明专利]测试头对接系统及方法有效
申请号: | 200980135954.0 | 申请日: | 2009-07-10 |
公开(公告)号: | CN102150055A | 公开(公告)日: | 2011-08-10 |
发明(设计)人: | 詹姆斯·B·伍德;布莱恩·M·波什 | 申请(专利权)人: | INTEST公司 |
主分类号: | G01R31/303 | 分类号: | G01R31/303;G01R31/26;H01L21/66 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 郑特强;黄艳 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 对接 系统 方法 | ||
1.一种用于将电子测试头与处理设备对接的系统,所述系统包括:
用于将所述电子测试头和所述处理设备组合在一起的组件;
用于操作所述组件的机构,所述机构包括设置在所述测试头和所述处理设备两者中的一者上的至少两个凸轮,所述凸轮用于操作所述组件;
用于操作所述机构的至少一个致动器;以及
连杆组件,其包括在所述至少两个凸轮之间延伸的至少两个连杆构件,其中,所述致动器机构在对接操作和分离操作中是可操作的,并且所述连杆组件的每个连杆构件在对接操作和分离操作中均通过牵拉张力而被移动。
2.如权利要求1所述的系统,其中,所述至少一个致动器包括手柄,该手柄与所述凸轮的其中一个关联并被配置成用以在对接操作和分离操作中操作该凸轮。
3.如权利要求1所述的系统,其中,所述至少一个致动器是由流体或电致动的线性致动器或旋转致动器。
4.如权利要求1所述的系统,包括至少两个致动器,每个致动器是由流体或电致动的线性致动器或旋转致动器。
5.如权利要求1所述的系统,其中,所述至少一个致动器是流体致动器,并且流体从流体源到所述流体致动器的流动是通过控制器来控制。
6.如权利要求5所述的系统,其中,所述控制器被配置成用以防止当发生动力损失或所述流体源的流体供给损失时所述流体致动器发生流体损失。
7.如权利要求5所述的系统,其中,所述流体致动器为双作用缸,并且所述控制器被配置成用以在对接操作过程中将流体供给到所述双作用缸的第一侧,以及在分离操作过程中将流体供给到所述双作用缸的相对侧。
8.如权利要求1所述的系统,其中,所述至少一个致动器为具有一杆的线性致动器,并且所述连杆构件中的至少一个连杆构件为连接到所述杆的第一端的第一连杆体。
9.如权利要求8所述的系统,其中,所述第一连杆体包括至少一个伸长的槽,所述槽容置与其它的连杆构件中的一个连杆构件枢转接合的枢转销。
10.如权利要求9所述的系统,其中,所述杆的第二端连接具有伸长的槽的第二连杆体。
11.如权利要求8所述的系统,其中,所述线性致动器相对于所述测试头和所述处理设备两者中的其上设有所述至少两个凸轮的一者而被固定。
12.如权利要求8所述的系统,其中,所述线性致动器被固定在一凹部中。
13.如权利要求1所述的系统,其中,每个凸轮包括从该凸轮延伸的至少一个凸缘,并且至少一个连杆构件枢转连接到所述凸缘。
14.如权利要求1所述的系统,其中,所述连杆组件以闭环方式连接到所述凸轮。
15.如权利要求14所述的系统,其中,所述至少一个致动器是线性致动器,该线性致动器设置在所述闭环内,并且该线性致动器的各端部分别连接到所述连杆构件中相应的一个连杆构件。
16.如权利要求15所述的系统,其中,所述线性致动器被固定就位,并且所述连杆构件被配置为:在所述致动器沿朝向相应的连杆构件的方向被操作时,所述连杆构件提供一定范围的枢转自由度和轴向自由度。
17.如权利要求15所述的系统,其中,所述线性致动器被配置为:在对接操作过程中沿第一方向牵拉每个所述连杆构件,并且在分离操作过程中沿第二方向牵拉每个所述连杆构件。
18.如权利要求14所述的系统,其中,所述至少一个致动器是设置在所述闭环内的由第一线性致动器和第二线性致动器构成的一对致动器,每个线性致动器的各端部上分别连接所述连杆构件中相应的一个连杆构件。
19.如权利要求18所述的系统,其中,所述第一线性致动器被配置为在对接操作过程中沿第一方向牵拉所述连杆构件的第一部分,所述第二线性致动器被配置为在对接操作过程中沿第一方向牵拉所述连杆构件的其余部分,并且其中,所述第二线性致动器被配置为在分离操作过程中沿第二方向牵拉所述连杆构件的第一部分,并且所述第一线性致动器被配置为在分离操作过程中沿第二方向牵拉所述连杆构件的其余部分。
20.如权利要求18所述的系统,其中,所述第一线性致动器被配置为在对接操作过程中沿第一方向牵拉每个所述连杆构件,并且所述第二线性致动器被配置为在分离操作过程中沿第二方向牵拉每个所述连杆构件。
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