[发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法无效
| 申请号： | 200980109021.4 | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101970727A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 原田和浩;佐藤忠广 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
1.一种石英玻璃坩埚，其特征在于包含直体部、角部及底部；且在至少所述直体部的一部分中，自坩埚的内表面起算的0.3mm～3mm区域中所含的OH基浓度以及OH基浓度梯度越接近所述内表面则越大，越远离所述内表面则越小。
2.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于：
在自所述内表面起算的0.3mm～0.5mm区域中所含的所述OH基浓度为115ppm以上，且在自所述内表面起算的0.3mm～0.5mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为100ppm/mm以上，在自所述内表面起算的1.0mm～3.0mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为25ppm/mm以下。
3.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于：
在自所述内表面起算的0.3mm～0.5mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为100ppm/mm以上，在自所述内表面起算的0.5mm～1.0mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为50ppm/mm以上，在自所述内表面起算的1.0mm～2.0mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为25ppm/mm以下，在自所述内表面起算的2.0mm～3.0mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为20ppm/mm以下。
4.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于：
在自所述内表面起至0.5mm为止的区域中所含的所述OH基浓度为115ppm以上，在自所述内表面起算的1.0mm～2.0mm区域中所含的所述OH基浓度为105ppm以下，在自所述内表面起算的2.0mm～3.0mm区域中所含的所述OH基浓度为80ppm以下，在自所述内表面起算的3.0mm以上、且自所述内表面起算的至少0.8t(t为坩埚的壁厚)以下的区域中所含的所述OH基浓度为60ppm以下。
5.一种石英玻璃坩埚的制造方法，其是将沿着旋转的塑模的内表面堆积的石英粉加热熔融而使之玻璃化来制造石英玻璃坩埚的方法，其特征在于：通过在所述石英粉的熔融中或熔融结束后立即导入包含水蒸汽的空气，而制造在自坩埚的内表面起算的0.3mm～3mm区域中所含的OH基的浓度以及浓度梯度越接近所述内表面则越大，越远离所述内表面则越小的石英坩埚。
6.一种石英玻璃坩埚的制造方法，其是将沿着旋转的塑模的内表面堆积的石英粉加热熔融而使之玻璃化来制造石英玻璃坩埚的方法，其特征在于：通过在所述石英粉熔融结束后导入包含水蒸汽的空气的环境下再次进行热处理，而制造在自坩埚的内表面起算的0.3mm～3mm区域中所含的OH基的浓度以及浓度梯度越接近所述内表面则越大，越远离所述内表面则越小的石英坩埚。
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