[发明专利]激光加工装置以及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：

出射激光的激光光源；

第一偏移部，所述第一偏移部包括：第一透明部件，其具有彼此平行的第一入射面和第一出射面；以及第一转动机构，其支承所述第一透明部件，以使所述激光通过所述第一入射面以及所述第一出射面，并且使得所述第一透明部件以第一转动轴为中心转动，以改变所述第一入射面上的激光的入射角度；所述第一偏移部使得与所述第一入射面的入射光平行地从所述第一出射面出射的出射光向第一方向偏移；

第二偏移部，所述第二偏移部包括：第二透明部件，其具有第二入射面和第二出射面，其中，从所述第一偏移部出射的激光向所述第二入射面入射，所述第二出射面与所述第二入射面平行；以及第二转动机构，其支承所述第二透明部件，以使所述激光通过所述第二入射面以及所述第二出射面，并且使得所述第二透明部件以与所述第一转动轴垂直的第二转动轴为中心转动，以改变所述第二入射面上的激光的入射角度；所述第二偏移部使得与所述第二入射面的入射光平行地从所述第二出射面出射的出射光向与所述第一方向垂直的第二方向偏移；以及

聚光器，所述聚光器汇聚从所述第二偏移部出射的激光。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

激光形状成形装置，所述激光形状成形装置被配置在所述激光的光路上的所述激光光源与所述第一偏移部之间，使得所述激光全部反射或折射以将所述激光形成为以该激光的光轴为中心的圆环形状。

3.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

第一电流镜以及第二电流镜，所述第一电流镜以及第二电流镜被配置在所述激光的光路上的所述激光形状成形装置与所述第一偏移部之间、或者所述激光的光路上的所述第二偏移部与所述聚光器之间，并通过反射所述激光来改变所述激光的方向；以及

电流镜驱动机构，所述电流镜驱动机构使得所述第一电流镜以及所述第二电流镜分别以彼此垂直的轴为中心转动。

4.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述激光形状成形装置包括第一轴锥镜以及第二轴锥镜，所述第一轴锥镜以及所述第二轴锥镜被排列设置成在所述激光的光轴上所述第一轴锥镜以及所述第二轴锥镜的圆锥部彼此相向或者朝向相互相反的方向。

5.如权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：

间隔控制部，所述间隔控制部控制所述第一轴锥镜以及所述第二轴锥镜之间的间隔。

6.如权利要求2至5中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，还包括：束径可变装置，所述束径可变装置能够改变从所述激光光源出射的激光的束径。

7.一种激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

使得从激光光源出射的激光通过具有彼此平行的第一入射面和第二入射面的第一透明部件，由此使得与所述第一入射面的入射光平行地从所述第一出射面出射的出射光向第一方向偏移；

使得向第二入射面入射的激光通过具有所述第二入射面和第二出射面的第二透明部件，由此使得与所述第二入射面的入射光平行地从所述第二出射面出射的出射光向与所述第一方向垂直的第二方向偏移，其中，所述第二入射面是被从所述第一偏移部出射的激光入射的面，所述第二出射面与所述第二入射面平行；以及

通过聚光器来汇聚被偏移到第二方向的激光，由此对加工对象进行加工。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，

使得激光通过所述第一透明部件的步骤包括以下步骤：使第一透明部件转动，以使得向第一入射面入射的激光相对于所述第一入射面倾斜；以及使得从激光光源出射的激光通过转动后的第一透明部件；并且所述第一方向是与从激光光源出射的激光的光轴大致垂直的方向，

使得激光通过所述第二透明部件的步骤包括以下步骤：使第二透明部件转动，以使得向第二入射面入射的激光相对于所述第二入射面倾斜；以及使得从激光光源出射的激光通过转动后的第二透明部件；并且所述第二方向是与所述光轴以及第二方向大致垂直的方向。